中古 NIKON NSR 1505 G6 #9068875 を販売中

NIKON NSR 1505 G6は、小型から中距離IC（集積回路）デバイスの製造用に設計された高性能ウエハステッパーです。最新のリソグラフィ技術であるNIKONの実証済みのGシリーズ技術を搭載し、独自のイノベーションを数多く提供しています。NSR 1505 G6ステッパーは、先進的な真空チャンバーを備えた最先端のデュアルコラム、C字型フレーム設計に基づいています。これにより、優れたサーマルプラットフォームの安定性、高いアライメント精度、低振動を実現し、スループットの向上、歩留まりの向上、低コストを実現します。NIKON NSR 1505 G6ステッパーには、5軸アライメントおよび両面レーザー干渉計システムが搭載されており、測定速度が速い非常に小さな形状を測定することができます。これにより、最先端の集積回路の効率的な生産が可能になります。NSR 1505 G6ステッパーには、ニコンの高度なアライメントアーキテクチャが装備されており、焦点制御の深さとベータースキャン適合レチクル用のマイクロオプティクスを最適化および制御します。ステッパーには100mmの視野拡張（FOV）も装備されており、ウェーハを高画質、低コスト、高解像度でスキャンすることができます。拡張されたFOVにより、ウェーハあたりの画像露出数を削減でき、効率的な生産ツールとなります。NIKON NSR 1505 G6の優れた性能は、洗練された照明設計と超高解像度の露光システムによるものです。非常に小さな機能を生成するために必要な正確な照明を開発者に提供することができます。NIKONの精密加工と組み立て機能を備えたハイエンド光学設計により、NSR 1505 G6は比類のない速度と歩留まりを備えた高精度なイメージングプロセスを提供します。要約すると、NIKON NSR 1505 G6ウェーハステッパーは、非常に小さなフィーチャーサイズ、タイトな幾何公差、優れた画像解像度と視野精度を提供しながら、優れたコスト効率を提供します。これにより、小型から中距離集積回路の開発に最適なツールとなります。