中古 NIKON NSR 1505 G4D #9269100 を販売中

ニコンNSR 1505 G4Dウェーハステッパーは、半導体およびフラットパネルディスプレイ製造用に設計された先進的なリソグラフィ装置です。このウェーハステッパーは、光学技術と他の技術を組み合わせて、さまざまな基板にパターンを迅速かつ正確に転送するように設計されています。NIKON NSR 1505 G 4 Dウェーハステッパーは、最大600 µC/cm2の露光量に達することができ、10nmのサイズの特徴をパターン化するために使用することができます。NSR 1505 G4D Wafer Stepperには、パターン書き込み速度を遅くすることなく、複雑なナノ構造パターンを排除する独自のタイプのスキャン機構が装備されています。ダイレクトドライブステージや超高精度カメラシステムなどのコンポーネントには、0。55の数値開口部を持つ投影光学などの高度な機能が組み込まれています。この洗練された技術は、露出が視野全体にわたって正確で均一であることを保証します。NSR 1505 G 4 Dウェーハステッパーのコアには、超高感度レーザーモードマルチプライヤーがあります。このコンポーネントは、高度な光学ユニットと組み合わせて、ステッパーは、パターン書き込みオプションの広い配列を提供することができます。露出方法は反復可能で、高精度かつ高精度な高品質なパターンを作成するために使用することができます。NIKON NSR 1505 G4Dウェーハステッパーは、次世代のタッチダウンウェーハローダーを採用した高性能ネットワークコンピュータを搭載しています。この効率的なユニットは、ウェーハ転送を迅速に処理し、ウェーハセグメントの位置、可用性、およびアライメントを正確に評価します。ウェーハローダーは、最大ミクロンまでのパターンオーバーレイの違いを検出することができ、最大6つのウェーハに並列に露光を行うことができます。NIKON NSR 1505 G 4 Dウェーハステッパーは、セットアップ時間を最小限に抑えて新しいパターンを受け入れるように調整可能で、メーカーは柔軟で生産性を維持できます。ウェーハステッパーは、高湿度、高温、低照明の環境で効率的に動作することができます。NSR 1505 G4Dウェーハステッパーのその他の機能には、自動化されたアシストガス、内蔵のガスコントロールマシン、レンズ要素の安定した動きを提供するための完全に調整可能なボディウェイトツールなどがあります。最後に、ウェーハステッパーのメンテナンスフレンドリーな設計により、製造プロセスの中断を最小限に抑えながら、欠陥部品の迅速なサービスと交換が可能になります。NSR 1505 G 4 Dウェーハステッパーは、半導体およびフラットパネルディスプレイのメーカーに高精度、再現性、柔軟性を提供する高度なリソグラフィ資産です。多くの機能と機能を備え、高度なリソグラフィ用途に最適です。