中古 NIKON NSR 1505 G4D #9226100 を販売中

NIKON NSR 1505 G4Dウェハステッパーは、半導体および集積回路製造用に設計された高度なフォトリソグラフィーシステムです。露出、レジストコーティング、レジスト開発など、幅広いプロセスを実行することができます。NIKON NSR 1505 G 4 Dには、高精度の2軸スキャニングステージと340 nm、 4 mJ ArFレーザー光源を搭載し、従来のレーザー光源と比較して最大4倍の写真応答を実現し、オーバーレイ登録精度が大幅に向上しました。露出パターンの精度を高めることで、より細かいラインやパターンを生成し、より高精度な部品の生産を可能にします。NSR 1505 G4Dの最大ステージ移動距離は355 mm（直径14インチ）で、最小解像度は0。5 μ mです。ステッパーは、プロセス制御と精度、およびユーザーフレンドリーなインターフェースに重点を置いており、操作が効率的で信頼性の高いものであることを保証します。NSR 1505 G 4 Dは、幅広いレジスト材料と互換性があり、さまざまなフォトリソグラフィープロセスを実行することができます。液浸、高度な微細加工、SU-8、灯台構造パターニングなどがあります。NIKON NSR 1505 G4Dは、1 μ mから200 μ mのサイズ範囲で高精度なパターンを実行するのに適しています。また、0。5 μ mラインやスペースなどの小さな特徴から、直径20mmまでの大規模特徴まで、形状やサイズの劇的な違いを持つパターンを生成することができます。NIKON NSR 1505 G 4 Dは、ウェハ表面を保護するために、クリーンな環境を積極的に維持する先進的な真空システムと、フォトブリーチなどの欠陥からウェハを保護する温度および湿度制御システムを備えています。NSR 1505 G4Dは、精度と信頼性に加えて、高速露光時間と高速処理機能を備えており、大量生産を可能にします。ステッパーは、オペレータや他の人員のための可能な放射線被ばくを最小限に抑えるための安全システムの範囲を組み込んでいます。結論として、NSR 1505 G 4 Dは半導体製造用に設計された主要なフォトリソグラフィーシステムです。この高度なウェーハステッパーは、高精度、高品質の露出パターンと高機能を提供し、より多くの部品を生産することができます。一連の環境保護機能と安全対策を提供し、高速露出と高速処理機能により、効率と信頼性が向上します。