中古 NIKON NSR 1505 G4D #293819196 を販売中

ニコンNSR 1505 G4Dは、半導体産業におけるフォトリソグラフィーウェハ加工用に設計されたウェハステッパーです。NIKON NSR 1505 G 4 Dは、調整可能なcatadioptric投影レンズとより大きなアライメントフィールドを備えた半導体回路の精密マイクロパターニングを可能にするハイエンド生産クラスのステップアンドスキャン装置です。最新の高度なイメージング技術を採用し、高精度で非常に微細な解像度で直接アライメントとパターン転送を可能にします。優れたパターン配置精度、歪みのない画像忠実度、および最高のスループットと高度な環境制御を可能にするオプションを備えています。イメージサイズは5インチで、8インチまでの基板に対応できます。露光波長は248nmで、レーザー干渉計をサポートしています。NSR 1505 G4Dは、高精度でパターンの歪みが少ないように設計されています。その高いスループットと微細な解像度は、アクティブなアライメントと高度な光学最適化により、ユーザーが生成したマスクパターンを正確に複製するStepおよびScanテクノロジーによって実現されます。さらに、スキャン速度を調整して処理時間を最適化することができます。このユニットは、フォーカスとアライメントのためのウェーハエッジフォローマシン、ウェーハフラット補正用のアクティブセンサー、およびオートステージキャリブレーションを備えた高度な環境制御を使用しています。それは自動入射照明およびシャッター制御と手動、半自動または完全自動化されたモードで、作動させることができます。また、ツールに必要な計算リソース、ソフトウェア、サポート、RAMへのアクセスも提供されています。また、リアルタイムのモニタリングとフィードバックを提供して、より迅速で正確で効率的なウェーハ処理を実現できます。NSR 1505 G 4 Dは、半導体産業における高度なフォトリソグラフィおよびマイクロパターニングプロセスの製造に最適なツールです。最新の高度なイメージングと環境技術で構築され、生産スループットと精度に最適化されています。これにより、多くの半導体産業にとって理想的な選択肢となります。