中古 NIKON NSR 1505 G4D #293818883 を販売中

NIKON NSR 1505 G4Dウェーハステッパーは、次世代ウェーハチップの複雑なリソグラフィ操作を可能にする高性能デバイスです。広範な機能を提供し、大規模な量産デバイスで高速で正確なフォトリソグラフィを提供するように設計されています。ステッパーは2組のレンズレンズを使用しています。1組はターゲットとなるパターンを照らし、もう1組は結果のパターンを検出し、異なるタイプのウェーハでパターンや特徴を正確に再現することができます。NIKON NSR 1505 G 4 Dは、NSR-C80iマスクアライナーとNSR-I140116イメージングコントロールボードを備えています。マスクアライナーは、ステッパー全体のクイックセットアップを可能にする多数のアライメントと登録オプションを提供します。イメージング制御ボードは、高精度で柔軟なリソグラフィ操作を制御するために使用されます。このボードは、3次元（3D）リソグラフィ操作を効率的に管理し、ターゲットウェーハ上のパターンに正確にアライメントするのに役立ちます。NSR 1505 G4D Wafer Stepperは、DUVツールとi-lineツールの両方で使用できるように設計されています。直径5インチ、深さ10マイクロメートルの露出面積があります。このデバイスは、最大30マイクロメートルの露光±サポートし、最大焦点深度は13。5マイクロメートルです。ステッパーは高精度で、1時間あたり最大1,500ウェハの高速スキャンレートを備えています。このシステムは、わずか6分で1,500ウェハの補間と統合が可能です。ステッパーには最先端のNSR-G200画像処理コントローラが装備されており、リソグラフィ操作の効率的な制御を提供します。また、線幅検出、パターン解析、面積補正、エラー補正など、いくつかの追加機能も提供しています。NSR 1505 G 4 Dウェーハステッパーは、高性能の半導体チップ、ナノデバイス、およびその他の高度な電子製品の組み立てに最適です。あらゆるタイプのリソグラフィに効果的で信頼性の高いソリューションを提供し、低い運用コストで高い生産性を提供します。このデバイスは、優れたフォトリソグラフィ機能のために、ウェーハメーカーやエンジニアにとっても優れた選択肢となります。