中古 NIKON NSR 1505 G4D #293616233 を販売中

ニコンNSR 1505 G4Dは、幅広い生産要件に対応するように設計された包括的な多機能ウェーハステッパーです。この機械は、半導体デバイスの製造における高度なリソグラフィ機能と高いレベルの性能、効率、および信頼性を提供するために作成されました。NIKON NSR 1505 G 4 Dは、超精密X、 Y、 θモータ機器によって駆動される二軸ステージを備えています。このシステムは、最高速度1,000nmの超微細なアライメントと単軸移動を可能にします。位置合わせの精度は0。1 μ mです。キセノン光源を1つ使用した高度な3チャンバー液浸ユニットを搭載しています。フルチップ生産のための高いレベルのスループットと光強度を維持することができます。最大解像度は0。14 μ m、 NA （Numerical Aperture）は0。93で、ファインイメージングと高品質のウェーハが可能です。NSR 1505 G4Dは、完全に自動化された高精度のダイウェーハアライメントツールも備えています。これにより、正確さとスループットを維持しながら位置誤差を迅速に修正できます。NSR 1505 G 4 Dでは、安全性が優先されます。異常または緊急事態が発生した場合に資産を検出および停止するOpen Gate Interlock （OGI）センサーが含まれています。AMS （Automatic Measurement Model）は、機械の使用パターンを監視し、潜在的な故障や故障がすぐに特定され、報告されるようにします。さらに、NIKON NSR 1505 G4Dは、品質を最大限に高め、メンテナンスを簡素化するために設計されたさまざまな高度なソフトウェア機能を備えています。この機械には、プロセス制御、校正、ロットトラッキング、パターン品質管理などのツールが装備されています。全体として、NIKON NSR 1505 G 4 Dは、高精度チップ生産用に設計された高度で効率的なウェーハステッパーです。強力なハードウェアと高度なソフトウェアの組み合わせにより、柔軟性と汎用性に優れています。それはハイテクな電子回路および部品の生産のための理想的な機械です。