中古 NIKON NSR 1505 G4D #293607259 を販売中
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NIKON NSR 1505 G4Dは、高品質のフォトマスクとパワーデバイスを大量生産する精密ウェハステッパーで、高度なリソグラフィ用途に最適です。高解像度のレーザーアライメントシステムを搭載し、精度と精度を確保し、高速運転を可能にします。400mm×600mmのアクティブエリアを持ち、最大基板サイズは150mm×150mmです。また、4波長で毎分最大70秒の露光時間と16レベルの照明強度を備えています。NIKON NSR 1505 G 4 Dには、最大8メガピクセルの解像度と10ミクロンの精度でフォトマスクパターンを生成できるデジタルイメージングマスク(DIM)マシンが搭載されています。そのデジタルパターンジェネレータは、信頼性の高い反復可能な結果を提供し、高精度のアプリケーションに適しています。また、マルチチップ包装ツール対応チップスタンドオフ間隔ダイシングステーションを備えています。ワッフルマップコータカセットオプションにより、基板の表面粗さを低減し、高品質なフォトマスクを実現します。NIKON独自のiCommanderソフトウェアも搭載しており、画像解析、ビデオ監視、安全なデータ転送が可能です。さらに、NSR 1505 G4Dは高速パターン検出器と包括的な照明スキャン装置を備えており、動作中のパラメータを正確に測定、制御、調整することができます。安全面では、NSR 1505 G 4 Dには独自の熱管理システムが装備されており、放熱を最小限に抑え、チャンバー全体の温度を安全な温度範囲内に保つのに役立ちます。このユニットには、ステージから排出される大気汚染物質を低減する高エネルギーフィルターが付属しています。全体として、NIKON NSR 1505 G4Dは信頼性の高い高性能ウェーハステッパーであり、高度なリソグラフィに優れた結果をもたらします。高精度で大量生産に適し、安全性と効率性を高める様々な機能と技術を備えています。
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