中古 NIKON NSR 1505 G4D #293607257 を販売中
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ニコンNSR 1505 G4Dは、最先端かつ要求の厳しいマイクロリソグラフィーアプリケーションの要件を満たすように設計された最先端のウェーハステッパーです。第4世代の先進的な5-6nm赤外線レーザーを採用し、フォトマスクの最高精度の加工と、現在および次世代のリソグラフィに適した大型基板の加工を可能にします。NIKON NSR 1505 G 4 Dウェハステッパーは、業界トップクラスのコヒーレンス低減を実現した独自の第4世代レーザーを採用し、高度なマイクロリソグラフィ用途に優れたイメージング機能を提供します。また、ウェーハステッパーの最大速度は250mm/秒、サブミクロンアライメント精度は0。5 μ mの自動アライメント装置(AAS)を内蔵しています。レーザーシステムには、最大0。3 μ mの分解能と0。0001secの時間間隔精度も組み込まれています。NSR 1505 G4Dのユニークな特徴は、高度な6軸モータ制御ユニットと信頼性の高いゼロメンテナンスおよびショートパルス調整機能の統合です。これにより、重要なアプリケーション要件の最高精度が保証されます。さらに、ステッパーには、フルカラーLCDグラフィカルユーザーインターフェイスで高速かつ正確な測定と操作を提供するように設計されたコントロールコンソールが付属しています。NSR 1505 G 4 Dウェハステッパーは、高度なイメージングおよびモーションコントロール機能に加えて、接触レチクルと非接触レチクルの両方を露出する機能を備え、最大限のプロセス柔軟性を提供します。独自のユーザプログラマブルマシンソフトウェアにより、複雑なマスクやウェーハパターンを簡単に管理できます。さらに、このツールは、年間を通じてパフォーマンスを維持するために完全にアップグレード可能であるように設計されています。要約すると、NIKON NSR 1505 G4Dは、最も要求の厳しいマイクロリソグラフィーアプリケーションの要件を満たすように設計された、高度で高精度なウェーハステッパーです。NIKON NSR 1505 G 4 Dは、AccuFMRモータ制御と独自の時間間隔精度、そして統合されたAASとユーザーフレンドリーでフルカラーのグラフィカルユーザーインターフェイスにより、幅広いユーザーに優れたイメージングおよびプロセス制御機能を提供するように設計された最先端の資産です。
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