中古 NIKON NSR 1505 G4D #293607253 を販売中

ニコンNSR 1505 G4Dは、さまざまな微細加工用途に使用される5インチウェーハステッパーです。最高レベルのパフォーマンスと効率を実現しながら、高いデータスループットと正確なアライメント機能を提供するように設計されています。この最先端の技術は、製造半導体の製造の面を劇的に変えました。NIKON NSR 1505 G 4 Dは、最大15個のウェーハを同時に処理する、さまざまなウェーハサイズと機能サイズで使用するように設計されています。フルフィルム投影、複数露光、レイヤードアライメント、各種アライメントなど、さまざまなプロセスオプションに対応できます。NSR 1505 G4Dには高精度のロータリーステージが装備されており、最高の柔軟性で迅速かつ正確なアライメントが可能です。NSR 1505 G 4 Dには、高解像度および低ノイズ特性をリーズナブルなコストで提供するさまざまな統合デジタルイメージングシステムがあります。スループット速度は非常に高速で、クリティカルなアライメント手順で10ミクロン以上の分解能を発揮します。また、ショットエラー検出機能があり、設計されたアライメント要件を満たしていない可能性のあるショットをユーザーに通知します。NIKON NSR 1505 G4Dのオンボードコントロールシステムは、イメージスケール、イメージセンター、Zレベルの調整を容易にします。堅牢なデータ管理ソフトウェアは、アライメントマトリックスのライブラリ、内蔵診断、リモート監視などの付加価値の高い機能を提供します。NIKON NSR 1505 G 4 Dの高度なオートメーション機能により、ウェーハの製造プロセスに最適です。自動検索アルゴリズム、自動画像最適化、自動基板交換、自動スリット制御などの機能を備えています。また、インタラクティブプログラミング機器とシンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスを組み合わせることで、操作しやすいシステムをユーザーに提供します。NSR 1505 G4Dは信頼性が高く、ツールの損傷を防ぐための振動検出ユニットを内蔵しています。また、ファイアウォール、冗長電源、効果的な安全インターロックセキュリティシステムなど、さまざまな安全機能も提供しています。最後に、このマシンは競争力のあるコストと低いメンテナンス要件で動作するように設計されており、半導体製造プロセスに最適なソリューションです。