中古 NIKON NSR 1505 G4D #293607252 を販売中

ID: 293607252
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G4Dは、直径約150mmまでの基板量産用の高精度、高性能フォトリソグラフィースキャナです。高度なウェーハステッパーとして、高品質の製品を製造するための高度で迅速で効果的なパターンを備えており、優れたスループットとコスト効率を提供します。1505 G4Dは、最先端の半導体デバイスの生産を容易にするための重要な設計機能と強力な照明技術で設計されています。露光緯度を5倍に低減し、より細かい解像度とシャープな画像を生成することができます。また、独自の高度な光学チップにより、画質が向上し、極端な倍率でのフォーカスが向上します。また、NIKON製のAircutメカニズムにより、リソグラフィーカバー内の気流によって生成されるパターン移動の格差を低減します。NIKON NSR 1505 G 4 Dの中心には、高出力の850nm連続波IRレーザーソースがあり、出力ビームの予測可能な露光電力と絶対的な均一性により、優れたスループットと高い光電圧を実現しています。これにより、エッチングされたパターンは、最先端の半導体部品の製造に見られる高倍率であっても、欠陥を最小限に抑えることができます。1505 G4Dの高度な光学系は、プログラマビリティと再処理機能に関しても非常に柔軟で効率的です。フィールドプログラマブルロジックアレイ(FPLA)を備えており、特定の基板やウェーハサイズに合わせた露出レシピの迅速なプログラミングを可能にします。また、超高解像度のプログラマブル電動光学を使用して、正確なアライメント、回転、拡大のための複雑な計算に使用できます。また、さまざまな工程や材料に使用できるように、幅広いステッパーと互換性があります。また、NSR 1505 G4Dは、サーマルサイトの損傷を防ぐアクティブアライメントシステムなど、多くの安全機能を提供しています。これは、高度な熱管理システムとファン速度制御と連携して動作し、製造中のデバイスへの熱損傷を最小限に抑えることができます。さらに、NSR 1505 G 4 Dは、ISO 10218-2やNFPA79などの業界標準の安全プロトコルで認定されているため、最高の安全基準を満たしていると確信できます。NIKON NSR 1505 G4Dは、精密フォトリソグラフィープロセス用の汎用性と強力なウェーハステッパーです。さまざまな要件と複雑さを備えた幅広い基板に使用でき、その高度な技術により、高画質、最小限の欠陥、コスト効率が保証されます。その安全機能と業界標準との互換性の範囲は、半導体部品の製造のための非常に信頼性の高いツールになります。
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