中古 NIKON NSR 1505 G4D #293607251 を販売中
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NIKON NSR 1505 G4Dは、NIKONのG4D、第4世代のフルフィールドプロダクションステッパーです。このステッパーは、高品質のウェーハパターニングにデュアル大径プロジェクションレンズを採用しており、あらゆる半導体アプリケーション向けの高性能ツールとなっています。このステッパーは、高度なイメージング、ナビゲーション、アライメント技術により、最高レベルの生産性、精度、スキャン品質を提供します。NIKON NSR 1505 G 4 Dは、可変フィールドサイズ、数百万ショットアライン、オートフォーカス、3D形状測定、オートコントラスト、自動圧力センシングなど、幅広い機能を備えています。高速スキャン技術はパターン転送速度と精度を向上させ、高精度モータ技術はスムーズなパターン配置を保証します。ステッパーには、オートセンター、オートアライメント、オートシェーピングなど、さまざまな高度な制御設定と自動化された機能が付属しています。ステッパーのもう一つの重要な特徴は、デュアルプロジェクションレンズです。これらのレンズは、最高レベルのaccutate画像取得とパターン複製を提供します。デュアルプロジェクションレンズは、0。60の数値開口(NA)を有し、中量から大量生産に最適です。さらに、高電圧照明システムにより、厳しい半導体アプリケーションでも最適なパターニングが可能です。さらに、NSR 1505 G4Dは、2nd/3rd orderの衝突検出および防止、適応画像制御、およびデュアルレベルの位置監視など、いくつかの高度なモーションコントロール機能を提供しています。これらの機能は、摩耗を最小限に抑え、メンテナンスの必要性を低減するのに役立ちます。さらに、ステッパーのサーボ制御システムは、高精度で厳しい公差を必要とするアプリケーションでも、スムーズな動作を提供します。NSR 1505 G 4 Dは、スムーズなワークフローを実現するために、複数のエラー処理ツールを提供しています。たとえば、潜在的なエラーを報告するアラートシステムを提供します。さらに、自動ウェーハチェンジャーは、迅速かつ正確にウェーハを切り替えることができ、ダウンタイムを削減し、生産のダウンタイムを最小限に抑えることができます。全体として、NIKON NSR 1505 G4Dは、高精度パターンイメージングを必要とするあらゆる用途に最適です。デュアルプロジェクションレンズ、自動制御、高度なモーションコントロール機能により、幅広いウェーハ処理作業に最適です。迅速で正確なウェーハパターニングを可能にし、より高い歩留まりとプロセス効率を向上させます。半導体製造に最適です。
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