中古 NIKON NSR 1505 G4C #9296337 を販売中
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NIKON NSR 1505 G4Cは、半導体やその他のマイクロデバイスの製造に使用される先進的なウェハステッパーです。装置はスキャナ、コラム、および引き込み式の光学システムから成り、リソグラフィ工程の間に高精度および速度を可能にします。最大フィールドサイズ330mmで、直径150mmまでの基板をサポートし、広い視野を動かすことができます。G4Cユニットは高度なインフィニティマシンで設計されており、高速525mm/秒のスキャン速度とともに、1.5X〜25Xの間で倍率を調整することができます。ダイレクトアライメントツール、ダイダイステッチ、可変形状ビームスキャンなど、最高の機能を備えており、超微細な解像度を実現しています。NIKON NSR 1505 G 4 Cアセットは、1回のスキャンで複数の露出アプリケーションを処理することができ、スループットと精度を向上させることができます。これは、可変形状ビームスキャン（VSB）モデルを使用して有効になり、プリントされたパターンで寸法再生を達成したり、ラインエッジの粗さ（LER）を増加させるための正確な制御を提供します。市場で最も高速なシステムの1つとして、G4Cステッパーは28nmで高解像度を提供し、10nmのライン幅を提供します。また、露光時間を短縮し、マイクロパターンへのスティグメーションを防止し、高精度なオーバーレイアライメントを実現するフルシンクロナイズドシャッター（FSS）を搭載しています。さらに、NSR 1505 G4Cシステムは、人間工学的に優しいコントロールパネルで使いやすいように設計されています。オーバーレイコントロールユニットも内蔵しており、調整やキャリブレーションを簡単に行うことができます。ビジュアルトラッキングマシン（VTS）とさまざまなスマートソフトウェアソリューションが含まれており、生産能力と生産の可視性を向上させ、リアルタイムの監視と予防メンテナンスを可能にします。結論として、NSR 1505 G 4 Cは、マイクロデバイスの製造において優れた性能と結果を提供するように設計された汎用性と信頼性の高いウェーハステッパーです。
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