中古 NIKON NSR 1505 G4C #9222897 を販売中

NIKON NSR 1505 G4Cは、さまざまなフォトリソグラフィック処理を実行するのに理想的なウェーハステッパーです。これは、150mmまでのウェーハを処理する能力を備えた、信頼性の高いフルフィールドオプティカルステッパー装置です。その光学システムは特別に優れた画質とフィールド平坦性を提供するように設計されています。高性能シャッターユニットを搭載しており、幅広い露光・線量制御が可能です。NIKON NSR 1505 G 4 Cには、NIKON独自のマルチビームアライメントマシン（MBAS）を搭載し、アライメント時間を大幅に短縮した優れたアライメント精度を実現しています。ステッパーには、高精度で均一な露出を提供する高度な照明ツールがあります。フレキシブルでフルプログラマブルなAutoFocusアセットは、レンズ傾きの精度を保証し、自動リアルタイムのフォーカス調整機能で表面プロファイルの変更を修正します。NSR 1505 G4Cはまた、高精度で高解像度のX-Yステージを備えており、基板の取り扱いと位置決めの精度と精度を保証します。さらに、ステッパーの最先端のダイレクトドライブモータは、高速かつ正確なアライメントを可能にします。ステッパーには、空中画像、プロファイル画像、ズーム画像、調整可能なコントラストを持つ画像など、幅広い画像オプションが装備されています。また、独自の光学プローブセンサーを搭載したウェハ識別機能も備えており、ステッパーは使用されている基板の種類を識別することができます。ステッパーには、露光中の画像の取得、測定、処理に使用できる統合ビジョンモデルがあります。基板の検査やチェックなど、多くの機能を自動的に実行することができます。NSR 1505 G 4 Cは、包括的なウエハトラッキングと制御機能を備えています。ウェーハ温度、チャンバー圧力、プロセスガスフローなどの項目を監視および制御することができます。さらに、ステッパーの高度なオートメーションシステムにより、ウェーハの自動ロードとアンロードが可能になります。最後に、ニコンNSR 1505 G4Cには欠陥検査ユニットが完全に統合されており、ウェーハ表面の欠陥を迅速かつ正確に検査することができます。この機械は、ウェハの製造を妨げる可能性のある汚染物や表面の欠陥を識別することができます。