中古 NIKON NSR 1505 G4C #293630450 を販売中

NIKON NSR 1505 G4Cは、半導体産業の最先端フォトリソグラフィ用途向けに設計された最先端の光学リソグラフィーステッパーです。優れたイメージング機能、高い生産性、低い所有コストを備えています。ニコンNSR 1505 G 4 Cは、高密度デバイスの製造用に設計されています。6。4インチx 6。4インチの広い露出フィールドを備え、優れたイメージングエッジ定義を備えています。5ナノメートルの解像度で正確かつ再現性の高い露光が可能です。0。25ミクロン〜0。50ミクロンの画像処理が可能です。NSR 1505 G4Cは、ウェーハへのレジストの接着性を高め、より高いスループットとドライエッチングとウェットエッチングの両方に優れた結果をもたらします。そのG線撮影システムは、一貫した正確な露出を維持します。NSR 1505 G 4 Cは、ナノ位置決めステージを使用してウェーハを移動および整列させます。800mmのスキャン範囲を超えて1µmまでの寸法のパターンが可能で、比類のない精度と精度を提供します。統合された露出レーザーは非常に速い露出時間を可能にします。NIKON NSR 1505 G4Cは、2nm以下のアライメント精度を持つマルチパターニング動作用に設計されています。オートレチクルローディング、オートカットアウト、ロックイン露出などの最新技術を搭載しています。これは、単一のプロセスで最大4つのレチクルを処理する能力を持っています。ニコンNSR 1505 G 4 Cは、乾式および湿式の両方の処理装置と統合して、完全に自動化されたリソグラフィーワークセルを作成できます。低コストで高性能でユーザーフレンドリーなリソグラフィーシステムです。また、自動モードと手動モードの両方でマルチパターニング操作を行うための費用対効果の高いソリューションです。NSR 1505 G4Cは信頼性が高く、コンパクトで、最適な生産性、スループット、および品質のために設計されています。ファウンドリ、ロジック、メモリデバイスなど、最も要求の厳しいアプリケーション向けの高度なウェーハ処理に最適です。