中古 NIKON NSR 1505 G4C #293607260 を販売中

ニコンNSR 1505 G4Cウェーハステッパーは、さまざまな基板上にマイクロチップを作成するための非常に精密で信頼性の高い機械です。このマシンは、3D構造で0.5µmまでのフィーチャーサイズを作成するために特別に設計されており、0.7µmの最小フィーチャーサイズで最高速度1200wafers/時間で200mmウェーハを露出することができます。NIKON NSR 1505 G 4 Cマシンの堅牢な設計には、200〜450mmの大小のウェーハをサポートするように設計された高速ウェーハステージが組み込まれています。また、3つの露出チャンバーと、露出プロセス全体の高精度と再現性を確保するように設計されたウェーハハンドリングシステムを備えています。さらに、このデバイスは、チップを作成するための波長308nmの深紫外線（DUV）レーザーを使用した信頼性の高い露出プロセスに基づいています。この組み合わせは、フォトリソグラフィ露出、印刷およびコーティング、直接書き込み、接触露出、パターン転送プロセスなど、幅広い用途に使用できます。精密で正確な露出を確保するため、高解像度の自動整列光学、インテリジェントパターン整列、デジタルエッジ検出などの機能を備えています。また、チップ設計と露光パターンの最適なマッチングを確保するために設計されたさまざまなステージオーバーレイアライメント方式もサポートしています。さらに、ステッパーは優れた再現性と精度を提供することができます。このデバイスは、何千もの露光のために一貫して動作するように設計されており、アライメント精度は最大4nmに達することができます。このレベルの精度は、露光プロセスによって引き起こされるサーマルドリフト、振動、および空気乱流によって引き起こされるエラーを考慮に入れます。ウェーハステッパー自体に加えて、NSR 1505 G4C Wafer Stepperはプログラミングおよびキャリブレーションツールのフルスイートを提供します。NIKONが提供するG4C Control Centerは、露出プロセスの最適化、露出の管理、高品質なチップ生産に必要な補正を支援します。NSR 1505 G 4 Cウェーハステッパーは、半導体製造における幅広い用途のニーズに対応するため、ニコンが提供するその他多くの付加価値サービスや製品に使用できます。これらには、露出チャンバー、クリーニングシステム、および最適に露出領域にウェーハを転送するように設計されたさまざまなアイテムバスケットが含まれます。ニコンNSR 1505 G4Cウェーハステッパーは、堅牢なメカニクスと最先端の設計を組み合わせたチップ製造用の非常に正確で信頼性の高いツールです。これは、精度、速度、柔軟性の比類のない組み合わせを提供し、半導体製造業界に適用可能な幅広いアプリケーションに適しています。