中古 NIKON NSR 1505 G4 #293602063 を販売中

ID: 293602063
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G4は、ハイエンド半導体プロセスのリソグラフィ用に設計された高性能ウェーハステッパーです。超高数値開口(NA)要件に最適化された光学機器と高度な顕微鏡およびイメージングシステムを効果的に組み合わせます。このユニットは、広い被写界深度の下で露出を動的に最適化し、優れたプロセスリソグラフィ結果を提供します。NSR 1505 G4は、最大4500xのスキャナ倍率を備えた135mm (mm)の大きなフィールドサイズを備えています。最小解像度は0。7 µm、最大線幅は0。2 µmで、高解像度光学系と高速露光時間の開発が可能です。高精度なイメージング機能により、最も複雑なパターンでも正確に再現できます。また、このウェーハステッパーは、高度な露出制御装置を備えており、それぞれの露出フィールド内の欠陥を実質的に排除します。この制御ツールは、各露出フィールド内のドリフトやフォーカスオフセットなどのエラーを自動的に補正します。また、露出サイクル時間が非常に短いため、露出スループットが向上します。NIKON NSR 1505 G4は、優れた性能で使いやすい資産を結集します。洗練された直感的でユーザーフレンドリーなソフトウェアベースのモデルコントロールを備えているため、ユーザーは同じ機器でジョブを簡単にプログラム、保存、リコールできます。これにより、露出設定の柔軟性が高く、システムをさまざまな露出ジョブに使用することができます。NSR 1505 G4は幅広いサポートとサービスオプションを提供しており、簡単な修理や部品の交換が可能です。また、幅広いカスタマイズを提供しており、ユーザーはリソグラフィープロセスの特定のニーズを満たすことができます。NIKON NSR 1505 G4ユニットは、半導体プロセスリソグラフィの業界で絶大な進歩を遂げており、ハイエンドチップの製造においてこれまでにないレベルの性能、柔軟性、品質を提供します。NSR 1505 G4ウェハステッパーは、広い被写界深度、高解像度、高速露光時間、使いやすいソフトウェアベース制御などの機能を備え、半導体業界の最大のプレーヤーに最適です。
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