中古 NIKON NSR 1505 G4 #121003 を販売中

NIKON NSR 1505 G4は、包括的かつ非常に複雑な多くの機能を導入した先駆的なステッパーです。マイクロエレクトロニクスやメカニクス・熱技術など、様々な光学技術とリソグラフィ技術を一体化した装置です。フォトリソグラフィープロセスにおける最先端の精度、精度、機能性を提供するように設計されています。NIKONシリーズのステッパーに加え、最高のパターニング品質と登録精度を誇ります。このシステムは、最も要求の厳しいアプリケーションの要件を処理することができます。NSR 1505 G4は、ハイスループットとプロセスの柔軟性が最も重要なフォトマスク生産などの先端技術ノードの課題に取り組むために理想的に装備されています。NIKON NSR 1505 G4の主要なイノベーションの1つは、革新的なテレセントリック光学インデックス付き照明（OIXテクノロジー）の組み込みです。このプロセスは、非常に小さな寸法で、高精度で均一な長方形の均一な画像を供給することができます。この機能は、高いスループットと解像度を実現する優れたイメージング性能とイメージコントラストを提供します。NSR 1505 G4は、OIX技術に加えて、優れたパターン品質と再現性を提供するように設計されたその他の幅広いハイエンド機能を搭載しています。例えば、デュアル焦点デュアル波長機能により、解像度とパターニング精度を向上させ、可変倍率により幅広いパターン特性に対応し、高精度なステップと繰り返し動作を可能にします。NIKON NSR 1505 G4には、クロムレスイメージ伝達技術も組み込まれています。さらに、基板の各層ごとに個別に設定できる調整可能な基板温度コントローラを搭載し、フォトリソグラフィープロセスの性能と信頼性を向上させます。この機能は、多くの場合、大きな基板を含むアプリケーションに役立ちます。NSR 1505 G4は、高解像度フォトリソグラフィ製造のための強力で包括的なツールです。再現性と高いスループット性能を備えた高精度パターニングを可能にするさまざまな高度な機能を提供します。このシステムは、最も要求の厳しい高度なテクノロジーノードの要求に非常に適しています。