中古 NIKON NSR 1505 G3A #9269127 を販売中
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ニコンNSR 1505 G3Aウェハステッパーは、フォトマスクのリソグラフィに使用される最先端のデバイスです。このデバイスは、最先端の光学系および設計により、高いコーティング均一性と優れた露出を保証します。NSR 1505は、13ミクロンから28ミクロンの高度なサイズのフォトマスクに優れたイメージング機能を提供し、ユーザーに最高レベルのディテールと明瞭さを提供します。NSR 1505は、イメージング機能に加えて、優れた精度と安定性を誇っています。これは、0.1µmまでの再現性、最大歪み0。0005%、および0。05%のフィールド全体の最大強度変動を持っています。その結果、ユーザーはわずかなバリエーションを持つウェーハの可能性なしに、自分のウェーハが完璧に見えるという自信を持っています。NSR 1505には、ユーザーがプロセスを容易にするためのさまざまな機能があります。スループットと精度を向上させる統合された自動アライナーを備えています。また、反射防止および低拡散設定により、露光感度を向上させ、再現性を高めます。また、パフォーマンスとユーザーの快適性を向上させる自動フットスイッチを備えています。このモデルは、NIKONデュアルカラムXYZステージを使用し、ステッパーに優れた速度、加速、解像度をもたらす統合モーションコントローラによって制御されます。NIKONはまた、初心者や経験の浅いユーザーに役立つAutoTracker AutoCalibrationを提供しています。内蔵ソフトウェアは、イメージングシステムの異常を検出し、露出のエラーを低減するのに役立ちます。最後に、NSR 1505は露光時間が短く精度が高いため、非常に効率的です。それにまた環境制御を助ける専用の部屋の排気システムがあります。そのため、産業用および研究用の両方に最適な優れたフォトマスクリソグラフィ装置です。優れたイメージング、精度、機能、効率により、あらゆるユーザーに最適です。
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