中古 NIKON NES1 H4 #9239625 を販売中

NIKON NES1 H4は、半導体デバイスの製造に使用される高性能ウェーハステッパーです。近接マスクアライナー、上面アライメントシステム、イマージョンプロジェクションレンズを内蔵したガントリースタイルのフルフィールド光学リソグラフィ装置です。露光時間を効率的に使用できるように設計されており、高倍率、高解像度、高スループットをサポートし、幅広い製造プロセスに適しています。NES1 H4は、高精度、3軸ガントリーを含む半導体材料の最適なウェハレベルの適用を保証するための機能の組み合わせを採用しています。上面アライメントマシンは、基板上の材料の各層の精密配置を保証し、均一な層分布を保証します。さらに、このツールの高解像度光学系は、他のウェーハステッピングシステムで可能なものよりも高い速度で非常に小さな機能を正確かつ正確に作成できることを保証します。NIKON NES1 H4のもう1つの特徴は、マスクからウェーハ表面への滑らかな光路を可能にするフルフィールドイマージョンプロジェクションレンズです。このアセットは、多層露光と多層リソグラフィの両方に対応するように設計されているため、フルフィールドイマージョンプロジェクションレンズを使用すると、通常達成可能なよりも速い速度で高解像度で材料を正確に適用できます。NES1 H4は、エポキシ、石英、低k誘電体、保護フォトレジストなど、さまざまな高分解能サポートサーフェスと互換性があります。それは6から30 μ mの焦点の関連付けられた深さの28のmm x 28までの分野サイズを提供できレーザーの干渉計の検出は0。1ミクロンまで正確さを提供できます。各レイヤーの精度を確保するだけでなく、ステッピングヘッドは高速動作と振動のない設計を特徴としています。全体として、NIKON NES1 H4は多彩で強力な多層リソグラフィ装置で、幅広い半導体アプリケーションにおいて高精度、高スループット、高精度な材料配置が可能です。その高度な機能と幅広い互換性のある材料は、さまざまなアプリケーションに適しています。