中古 NIKON NES1 H4 #9239624 を販売中

NIKON NES1 H4は半導体ウェーハ基板の製造に使用される半自動高精度ステッパーです。H4ウェーハステッパーは、10 μ mで高い歩留まりと優れた精度を提供します。様々な機能を搭載し、半導体業界で15年以上にわたり使用されてきました。NES1 H4は、56。4 x 56。4mmのフィールドサイズと25。4 x 25。4mmの最大ステージサイズのシングルフィールドステッパーです。ステッパーには、360度の精密アライメントのためのマルチパターニング回転ステージ（MPRS）が装備されています。H4ウェーハステッパーの最大解像度は、500mmの範囲で0。1 μ mです。ステッパーには、配置顕微鏡、レーザー変位センサ、およびアライメント改善プロセッサからなるアライメント/露出装置が装備されています。また、高精度プロジェクターレンズ、サンプリングアライメント、ビーム偏光制御を備えています。NIKON NES1 H4は、深紫外線（DUV）と極紫外線（EUV）リソグラフィの両方をサポートする波長範囲を備えています。ステッパーはi-lineとKrFの両方のレーザーと互換性があり、最大4つの異なるレーザー源で動作するように設計されています。ステッパーには、光学歪み、フィールドの均一性、印刷品質を低減するためのソフトウェアおよびハードウェアツールも装備されています。ウェーハステッパーは、単体および両面フォトマスク、表面実装デバイス、およびギャップレス金属絶縁体（MIM）デバイスなど、さまざまなウェーハ基板を取り扱うことができます。また、幅広い基板を高精度にパターン化することも可能です。さらに、NES1 H4にはさまざまな機能強化モードがあり、壁角変動を最小限に抑えた剛性のあるサブミクロン構造や、優れたオーバーレイ精度、均一なフォーカス、より高いスループットを実現します。NIKON NES1 H4は、安全対策の観点から、国際標準化機構（ISO）の安全基準に準拠するように設計されています。ステッパーのインターロックシステムは、予期しないレーザー露出から保護し、防塵機能により汚染のリスクを低減します。ステッパーの保護コーティングは電離放射による損傷を防ぎ、ユニットのEEPROMは電磁干渉から保護するように設計されています。全体として、NES1 H4ウェーハステッパーは、優れた精度、高い歩留まり、信頼性を提供する先進技術です。幅広い基板を正確にパターン化することができ、安全な生産作業のためのさまざまな安全機能を備えて設計されています。