中古 NIKON NES1 H04 #9410902 を販売中

製造業者
NIKON
モデル
NES1 H04
ID: 9410902
Mini stepper.
NIKON NES1 H04ウェーハステッパーは、VLSIおよびULSI集積回路チップの製造に使用される半導体業界で使用される最先端のリソグラフィーツールです。NIKON NES1-H04は、620mm x 620mm以上の広い作業面積と0。5 nmの高精度で制御可能な動きにより、最高密度の高度な電子回路を製造することができます。NES1 H04は、ウェーハ表面に精密なパターンを生成する一連の光学部品と高レベル制御サブシステムを備えています。6インチの高解像度F2ステッピングレンズで、0。5の数値開口と405nmまたは365nmの光源を備えています。また、最大250mm/secの線形速度と400nm/radian回転精度を実現する高精度のXYステージも備えています。これにより、ウェハステッパーは、単一のトランジスタからより大きな相互接続まで、サイズの範囲のチップの一部を正確に作成できます。その印象的な光学系に加えて、NES1-H04はまた、信じられないほど効率的な冷却システムを誇っています。高性能イマージョンリソグラフィーユニットは、優れた環境制御と低圧低振動プラットフォームを提供するために使用されます。このシステムは、サーマルノイズを排除し、結果の精度を高めるのに役立ちます。さらに、高効率の空冷チラーは、ウェーハステッパーを最適な温度で動作させ、エネルギー消費を削減し、寿命を延ばすことができます。NIKON NES1 H04は、直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスによって制御され、さまざまなアプリケーションの高速なナビゲーションと処理を可能にします。また、GDS、 CIF、 DXFなどのさまざまな設計フォーマットにも対応しています。また、統計データをリアルタイムで収集することができ、最適化された一貫性のある結果を得るために、ユーザーが情報に基づいたセットアップ調整を行うことができます。全体として、NIKON NES1-H04ウェーハステッパーは、高精度で複雑な集積回路を作成するのに最適なツールです。その高度な光学系と直感的なユーザーインターフェースは、効率的な冷却システムと組み合わせることで、VLSI回路とULSI回路の生産において非常に貴重なツールとなります。
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