中古 NIKON NES1 H04 #9356064 を販売中

NIKON NES1 H04は、プリント集積回路に使用されるフォトマスクを正確に作成するためのウェーハステッパーです。この装置は、高精度のデジタル制御モード（DCM）ステッパーで構成された非常に高解像度の露出システムを提供し、フォトマスクの正確で再現性の高い露出を保証します。NIKON NES1-H04は、強力な8。4ミクロンのマイクロフォーカス光学系を使用し、0。5ミクロンの全分解能を+/-1。5umの精度と+/-3umの再現性を提供します。さらに、0。2ミクロンの精度を提供する革新的なサブフィールドレベルのステッパーを備えています。0。5秒のステップとリピート時間により、ほとんどの大容量プリント環境で高速かつ中断のない動作が可能になり、統合されたRec （Repeatability Error Compensation）テクノロジーにより、リソグラフィの作業がさらに改善されます。ウェーハステッパーは、サンプルの完全性と位置精度を監視するための高感度の充電結合デバイス（CCD）カメラも備えています。このCCDカメラは高感度で、毎秒10フレームのフレームレートで12。3メガピクセル分解能のCCDを使用しているため、フォトマスク製造時の標本の詳細な分析が可能です。また、専用のチャンバー設計を採用し、密閉圧力を均一にするとともに、特定の状況に合わせてガスの流れを調整することができます。これにより、ユーザーは、部分露出などのさまざまなアプリケーションに簡単にマシンを調整することができます。これらの機能に付随して、対物レンズのオートフォーカス、自動ゼロ化、オートレチクルセンタリングなど、正確なアライメントとフォーカスのための自動操作の範囲があります。これらのスマートな機能により、ユーザーは最小限の労力で最適な露出を得るためにウェーハを正確に配置できます。全体として、NES1 H04は優れたリソグラフィ結果を達成するための高度な機能を提供し、フォトマスク製造時間とコストを大幅に削減し、ユーザーに最高レベルのパフォーマンスと信頼性を提供します。