中古 NIKON NES1 H04 #9225317 を販売中
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ID: 9225317
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2010
Mini steppers, 6"
Resolution: 2 μ L/S, K=0.8
Wave frequency: H line (405 nm)
N.A: 0.16
Exposure range: 15.00 mm x 15.00 mm ~ 11.23 mm x 18 mm
Alignment accuracy: |M| 3σ ≦ 0.3 μm
Reticle size: 5” x 5”, t=0.09" Quartz glass
Throughput: 6” Wafer (61) shots, 60w/h
2010 vintage.
NIKON NES1 H04は、半導体製造において困難なフォトリソグラフィープロセス用に設計された高精度ウェーハステッパーです。325nm/stepの解像度で詳細な画像を提供します。直感的なデザインは、さまざまなラミネーションおよび露出アプリケーションに簡単に適合します。ウェーハステッパーは、正確で信頼性の高いスキャンシステムを備えており、マスクとウェーハの正確なアライメントを可能にし、正確で繰り返し可能な水平および垂直座標を保証します。ファンビームステッチに対応した大判オリエンテーションステージを搭載し、パターンアライメントの精度に優れ、より大きなウエハーのフルスキャンモードを実現しています。NIKON NES1-H04は、フォトリソグラフィーアプリケーションをより簡単に、より効率的にする多くの機能を提供しています。NIKON独自のVoice Image Process Technology (VIPT)を搭載しており、パターンや素材に応じて露出パラメータを素早く調整できます。また、高いDUT受入をサポートする世界をリードするマルチEXELオートメーションも含まれています。また、ウェーハステッパーは直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えており、マシンのすべての機能と設定に直接アクセスできます。これには、作業の進行状況を可視化するためのカメラビューと、あらかじめ設定された露出設定が含まれます。これらの設計機能はすべて、さまざまなフォトリソグラフィ用途に優れた性能を提供するために組み合わされています。信頼できるスキャンシステムにより、正確なパターンのアライメントが保証され、直感的なGUIにより迅速かつ簡単に調整できます。フォトリソグラフィープロセスで最高レベルの詳細と精度を必要とするユーザーにとって、NES1 H04は理想的なソリューションです。
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