中古 NIKON MX-61 #9131852 を販売中

NIKON MX-61
製造業者
NIKON
モデル
MX-61
ID: 9131852
Automatic inspection system.
NIKON MX-61は、ウェーハ処理アプリケーションに最適な性能を提供するために設計された最先端のステッパー装置です。高精度な位置決めシステム、高精度モータ、非常に滑らかな動きと回転を持つウェーハステージを備えています。MX-61はまた、ウェーハと生産プロセスの正確なアライメントを維持するために、ユニットの位置を常に監視および調整する自動ステージ追跡システムを備えています。NIKON MX-61は、ステージ上の4つの指定された位置と変位のない位置を迅速かつ正確にウェーハを輸送することができる、精密なアライメントとオリエンテーションが可能です。このマシンには、最小ステップサイズが10ミクロン、最大速度が1,000mm/s (1。1m/s)のシングルステージXYステージ駆動機が装備されています。また、10ナノメートル以下の再現性で高い精度を提供するように設計されています。MX-61には、アライメントやサイズなどの要素を考慮しながら、ウェーハの欠陥を検出できる高度なイメージングツールも搭載しています。NIKON MX-61は、時間の節約と生産効率の向上を目的とした完全自動化された資産です。このモデルは使いやすく、使いやすい操作インターフェースを備えています。さらに、さまざまな診断機能と仮想エンジニアリングツールが含まれており、パフォーマンスと信頼性を最適化するために設定とパラメータを微調整できます。また、潜在的な危険から人員を保護するように設計された統合安全装置も含まれています。MX-61は、高精度の真空ウエハハンドリングシステムと様々な高解像度カメラを搭載しています。さらに、高性能レンズ、2軸ミラーステージ、高速データアレイピッカーも内蔵しています。また、フォトマスクやICなどのウェハにも対応できるように設計されています。また、単一または複数のウエハ操作が可能であり、光学測定装置やイメージングシステムなど、さまざまな機器と統合することができます。全体として、NIKON MX-61はウェーハ加工用途の業界標準のステッピングユニットです。高度な機能と生産性を備えたMX-61は、ウェーハの効率的かつ正確な生産のための優れたソリューションを提供します。また、速度と精度の面で最適な性能を提供するように設計されており、大量生産環境に最適です。
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