中古 NIKON KDP1640EHE #293668739 を販売中

NIKON KDP1640EHEウェーハステッパーは、高度な半導体デバイス生産のための高解像度イメージングとリソグラフィ性能を提供するために設計された次世代機器です。NIKON電界放射ガンスキャン電子顕微鏡（FEG-SEM）と、低歪み、高速デジタルイメージングを可能にする直接露光技術で構成されています。KDP1640EHEは、5軸ブリッジ型のモーションステージ分離システムを備えており、高速直交スキャンを備えており、繰り返し可能で安定した配置精度とステップと繰り返しの性能を保証します。最大4枚の6インチウェーハを同時に収容できるように設計されており、最小幅0。2 μ mの厚さ20mmまでのウェーハに対応できます。このユニットには、登録精度を向上させ、アライメント時間を短縮するための低ディストーション取り付けレチクルコンバイナを備えた高速レチクル交換機能も含まれています。この機械のレンズ制御ツールは、高精度の4軸アライメントと高精度のステップとリピート機能を備えており、優れた画像処理とリソグラフィ性能を提供します。最適な露出を提供するために自動的にウェーハを集中させる自動イメージセンタリングアセットと強力なマスクパターンエディタを備えており、オペレータは複雑な露出パターンをすばやく作成できます。NIKON KDP1640EHEのモーターを備えたレチクルステージは、最大+/-1 μ mの精度シフトを提供し、モーターを備えたレチクルロードとアンロード能力でスループットを最大化します。このモデルの自動アライメント機能により、シフトレスの高速スキャン露出が保証され、オペレータは他のタスクに集中することができます。さらに、各ステッピングショットの焦点範囲を監視するフォーカスモニターを装備しています。KDP1640EHEは、ハイエンドのウェーハステッパーに期待される精度と精度を提供するだけでなく、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と使いやすいデータ制御機能も提供します。画像条件、プログラマブルレンズ制御設定、パターン編集機能などの機能はGUIを介してアクセスでき、付属のセルフテストおよびセットアップ機能は機器の性能と機能に関する詳細な情報を提供します。コントロールコンソールは、8インチのタッチスクリーンインターフェイスと大判のエルゴノミックキーボードを備えたクイックスタートアッププロセスも可能です。全体として、NIKON KDP1640EHEは、高度な半導体デバイスの製造に必要な精度と速度をオペレータに提供する、非常に信頼性が高くユーザーフレンドリーなシステムです。自動アライメント、包括的な画像編集、フォーカス監視ツールの改良により、大規模なデバイス製造および研究アプリケーションに最適です。