中古 NIKON i9 #293797470 を販売中

NIKON i9は、世界最大のリソグラフィ機器メーカーのイマージョンタイプのハイエンドウェーハステッパーです。業界をリードするこのマシンは、高度なプロセスに理想的なプラットフォームであり、トランジスタ設計において優れたイメージング性能を提供します。NIKON I 9は、最新世代のTTLレーザー干渉計、インテグラル振動低減、エッジ強化技術を搭載した、他のステッパーを上回るステップです。I9には5X5-inchな作業領域があり、バックサイドリソグラフィやパターニングに最適な幅広い解像度を提供します。その優れた解像度と精度は、浸漬やオイル浸漬などの最新のウェーハ加工技術と組み合わされ、0。1ミクロン未満の超微細線幅を生成することができます。統合された振動低減機能により、I 9は今日市場で入手可能な最も信頼性が高く正確なツールの1つになります。この装置は、高度な拡張性とプロセス制御機能を備えています。自動端の強化および自動レーザー力の制御のような複数の熱心な露出モードは、良い露出制御を可能にします。これにより、パターンが正確かつ迅速に複製されます。このシステムには、光学系を粉塵やその他の汚染物質から保護する自動露出源シャットオフ機能が含まれています。NIKON i9には、より良いパターニングと露出制御のために最適化されたインテリジェントレイアウトユニットもあります。露出フィールドは4〜9個の小さな部品に分けることができ、さまざまな形状、サイズ、露出レシピを簡単に制御できます。露出フィールド最適化ツールは、スループットを最大化し、手動最適化の必要性を最小限に抑えます。NIKON I 9のソフトウェアアーキテクチャには、Predictive Exposure Control （PEC）と呼ばれる強力な画像生成と露出制御ソフトウェアが含まれています。PECはウェーハ処理を簡素化し、すべてのプロセスパラメータを内蔵して監視し、品質管理のフィードバックを提供します。柔軟なメンテナンスマシンにより、工具の迅速かつ簡単な修理とメンテナンスが可能です。I9は、高度な半導体プロセスのニーズを満たすように設計された、強力で信頼性の高いウェーハステッパーです。その優れた解像度、精度、拡張性、最新のプロセス制御ツールと組み合わせることで、裏面のリソグラフィとパターン作成に最適な資産となります。