中古 NIKON i9 #139030 を販売中

NIKON i9は、最高精度のフォトリソグラフィーウェハステッパーです。フォトマスクから集積回路の主成分である半導体ウェーハにパターンを転送するために使用されます。ステッパーは、パターン転送に高精度と再現性をもたらす同期メカニズムで動作します。NIKON I 9には最先端の液浸レンズと高度な照明光学セットが装備されています。液体やガスなどの浸漬媒体を使用することで、高解像度で優れたイメージング性能を発揮します。レンズの開口部を大型化し、高解像度印刷とオーバーレイ精度を実現し、被写界深度に優れています。レーザー干渉計に基づいた統合計測システムにより、ユーザーはウェーハを機械から取り外す必要なく、ステッパー上で最終的に印刷されたパターンを測定できます。これにより、プロセス中に発生するウエハレベルの欠陥を迅速かつ容易に検出できます。ステッパーは、基板ステージとマスクステージの2段階で構成されるサンプルサポートを提供します。基板とマスクステージには、動きを検出するための光学センサーが装備されており、リニアモータと精密エンコーダの複雑なネットワークによってリンクされ制御され、非常に精密で反復可能な動きを提供します。また、自動フォーカスユニットI9、ウェーハの平面を自動的に決定し、フォーカスを維持します。これにより、手動で調整する必要がなくなり、生産スループットの向上に役立ちます。I 9は、パラメータの微調整、露出後ツールのリアルタイム監視、エラー検出機能などの多数の機能を備えた直感的でユーザーフレンドリーなPCベースの制御マシンによって実行されます。高い耐久性と長寿命の性能は、数多くの安全プロトコルと試験手順によって保証されています。これにより、長時間にわたる信頼性と一貫したパフォーマンスが保証されます。全体として、NIKON i9は、優れたイメージング性能、リアルタイム監視機能、オートフォーカス機能、統合計測機能を備えた先進的なウェーハステッパーです。これは、集積回路の精密生産のための貴重なツールであり、極めて精度と再現性を提供します。