中古 NIKON i8 #9155056 を販売中

NIKON i8は、半導体製造から医療機器製造まで、さまざまな用途で使用される最先端のリソグラフィーステッパーです。投影された光イメージングを使用して、コンピュータで生成された設計に基づいて基板上にパターンを正確に作成する高精度ツールです。NIKON I 8は、NIKON lithography toolsの旗艦として、初の商用リソグラフィーステッパーでした。I8はいくつかのコンポーネントで構成されています。まず、超高圧水銀ランプを光源とする照明装置を備えています。この光源はシステムの外側に配置されており、部分的に安全性と信頼性を高めています。中心光源は、反射率を向上させるために金メッキされています。内部調整やダークフィールド応答の改善により、スリットのサイズと形状を調整することもできます。プロジェクションユニットの開口径は25mmで、20mm四方までの広い露出フィールドを実現できます。また、0。51 mJ/cm2、または45 nmハーフピッチ解像度の高解像度の垂直アライメント（VA）解像度を備えており、結果として小さなジオメトリデバイスでは、高密度のラインとスペースでは1。2umのサイズが0。1umになります。堅牢なモーターまたはアクチュエータを搭載し、ステッピングモータの高速動作とドライブサイクルの柔軟性を提供し、ウェーハのアライメント精度に優れています。プロジェクションマシンには、大きなパターンをより大きな領域にマッピングし、表面カバレッジを向上させるための独自の低角度スキャンツールも含まれています。I 8には、階層検証チェッカー、障害検出アセット、自動露出調整モデルなど、リソグラフィープロセスを最適化するためのさまざまなソフトウェアツールもあります。さらに、革新的なDicing Output （DOC）装置により、単一の露出でシングルウェーハパターンを実行できます。その強力なソフトウェアは非常に直感的で、ユーザーは簡単に露出を変更し、写真技術を変更し、マスクのデザインを保存して取得することができます。NIKON i8リソグラフィーステッパーは、非常に高い精度と解像度で複雑なパターンを効率的に作成するための信頼できるプラットフォームを提供します。NIKON I 8は、独自の機能、強力なソフトウェア、および性能を備え、多くの精密アプリケーションで業界で好まれているリソグラフィーステッパーです。