中古 NIKON i8 #9144952 を販売中

NIKON i8ウェーハステッパーは、全自動、高精度のリソグラフィ装置です。この最先端のマシンは、厳密に定義された微細な機能を必要とする高度な半導体チップやその他のデバイスの製造に最適です。NIKON I 8は高速、低コストのリソグラフィを提供するように設計されています。革新的なワンピースカーボンファイバーベースと軽量の真空チャックを備えています。これにより、振動を最小限に抑え、優れたウェーハ平坦性と優れたウェーハステッピング精度を実現します。最大3ミクロンのステッパー精度で、0。8ミクロンから0。1ミクロンまでの解像度を提供できます。これは、ファインピッチレーザースキャニングミラーと高精度のステージ移動によって可能になります。I8には、10X倍率顕微鏡と4角度照明を内蔵しています。これにより、チップ機能の高精度なアライメントとモニタリングが可能になり、また、ウェハ検査を改善する画像ストリーミングソリューションを提供します。ステッパーは非常に柔軟性があり、ウエハローディングが容易な電動プレアライナーと、UVやKrFなどのさまざまな照明オプションを備えた適応性の高いウエハステッパーを備えています。これにより、メーカーはマシンを特定のニーズに適応する自由を提供します。このツールには直感的な運用資産があり、包括的なオートメーションソフトウェアが含まれています。露出、ステージ移動、ウェーハの向き、ウェーハの取り扱いなどのサブシステムを制御します。I 8ウェーハステッパーは、費用対効果の高い高精度リソグラフィに最適なソリューションです。革新的な機能、優れた精度、ユーザーフレンドリーな操作の組み合わせにより、高度な半導体およびデバイスメーカーに最適です。