中古 NIKON i8 #9068878 を販売中

NIKON i8は、株式会社ニコンが開発した精密ウェハステッパー精密リソグラフィーイメージング装置です。ステッパーのi-lineシリーズの最新システムです。これは、高度なプロセス開発のための理想的なツールを提供するために、いくつかの技術や機能の統合をサポートしています。ステッパーは完全に自動化されたプラットフォームを備えており、継続的な試行錯誤学習を提供します。独自のディープサブミクロンアライメント技術であるNEXIVなどの高度な技術を取り入れ、高い印刷精度を確保しています。ニコン独自のACCUPHASE加工技術と多次元ノズル制御技術は、優れたリソグラフィ性能に貢献します。ユニットのSTEMは、高解像度の空力駆動型反射防止光学を使用して、世界クラスのイメージング性能を提供します。このマシンは高度なフレームイメージングツールを備えており、マルチフィールドオーバーラップ露光を可能にしてパターン振動を低減します。高度な1xレチクル検査機能により、サンプルスポットが元のウエハに定義されたパターンと一致することが保証されます。高度な光学アセットは、高精度の2次元登録モデル（iTDR）だけでなく、ペリクル外観制御のための高解像度および低歪み光学機器を提供しています。さらに、予測パターン測定ツール、データ検索ツール、プロセス監査ツールなど、さまざまな強力なソフトウェアツールが装備されています。パターン測定ツールを使用すると、バッチデータの取得、オーバーレイとドリフトの傾向の表示、ウェーハの歪みの分析が可能になります。データ検索ツールを使用すると、処理中に作成されたチャートからウェーハ特性データを収集できます。プロセス監査ツールを使用すると、複数のシステムおよびプロセスのデータを監視し、品質保証を保証できます。ユニットの強力なコントローラとソフトウェアは、効率を最大化し、他のステッパーよりも最大3倍高速の機器操作を可能にします。このマシンはまた、ウェーハ印刷のための高速移動と配置のための共同アライナーを提供しています。さらに、このツールは、計測アプリケーション用のほとんどのレーザーレベルと、幅広いアプリケーション用のバックエンドプロセスと互換性があります。NIKON I 8は、高度なリソグラフィ用途向けの最先端技術アセットです。堅牢なハードウェアと強力なソフトウェアツールを提供し、優れたイメージング性能と迅速な納期を提供します。このモデルは、経済的で効率的なリソグラフィープロセスに最適なツールです。