中古 NIKON i8 #293807130 を販売中

NIKON i8
製造業者
NIKON
モデル
i8
ID: 293807130
ウェーハサイズ: 12"
Stepper, 12".
NIKON i8は、半導体加工や微細加工に使用されるウエハステッパーのワークホースです。これは、ファインパターニングのための高速かつ正確な非接触直接書き込み露光装置を備えています。NIKON I 8は、非常に小さなライン間隔と正確なアライメントで回路パターンを生成することができる特別に設計されたフォトマスクアームを備えたOpt-Liteステージを使用しています。ステージは0。5ミクロン単位で移動することができ、ユーザーは高精度で複雑な微生物を作成することができます。I8は、0.2mWから100mWまでの可変レーザー出力を持つマルチフォーマットレーザーダイオードによって駆動されます。このシステムはまた、異なる線幅のパターンを達成するために可変デューティサイクルとさまざまなパルス幅を持っています。可変的な高さの焦点制御は異なった高さのパターンを作成するとき例外的な正確さを可能にします。高精度な露出ユニットに加えて、I 8にはウェーハ用の冷却機が新たに搭載され、処理時間が向上しました。TEC-280冷却ツールは、ウェーハを毎秒0。5°Cまで冷却するように設計されており、熱歪みと焦点シフトを排除します。ステージにはトップ加熱チャックもあり、静電気による振動を最小限に抑えることができます。NIKON i8は、1秒間に10,000個のレーザースポットまたはポイントを生成できる超高分解能のガルバノメータスキャナを備えています。800rpmで連続回転できる新しい回転ディスクを搭載し、連続撮影ごとにフォーカシングレンズを取り外します。この機能は、露出プロセスに必要な時間を短縮するのに役立ちます。NIKON I 8は、専用のソフトウェアとハードウェアを使用して、非常に微細で正確な機能を作成するのに最適です。このアセットには完全に自動化されたアライメントプロセスがあり、パターニングから推測を取り除き、セットアップ時間を大幅に短縮します。また、学習して使いやすいインタラクティブなユーザーインターフェイスも備えています。I8は、微細なパターニングと微細加工のための信頼性の高い効率的なウェーハステッパーです。その高度な機能と機能は、あらゆる生産ラインへの完璧な追加を行います。レーザダイオード、可変デューティサイクル、可変高さフォーカス制御、およびTEC-280冷却モデルを備えたI 8は、精度と速度を備えたハイエンドで複雑なマイクロフィーチャーを作成するための理想的な選択肢です。
まだレビューはありません