中古 NIKON i8 #293797469 を販売中

NIKON i8ウェーハステッパーは、小型ロット、実験、試作、大型ウェーハのバッチ処理が可能な高性能リソグラフィ装置です。半導体デバイス、ディスプレイ製造、MEMSデバイスなど、幅広い微細加工用途向けに設計されています。NIKON I 8は高度に自動化され、ユーザーフレンドリーで、簡単な操作と信頼性の高いパフォーマンスを可能にします。I8は、8インチのテレセントリックレンズの強力な投影システムを使用して、照明光学に焦点を当てたビームを提供し、優れた画像品質を保証します。また、長さ15mmの作動距離を備えているため、球状の傾斜マイクロストラクチャーに最適です。I 8は、複数のアライメントマークを使用した自動アライメントと、最大4倍の速度を可能にする高速スキャンモードを提供します。NIKON i8は、大型マスクと小型マスクの両方に対応できる柔軟で交換可能なマスク搬送機構を備えています。マスク搬送は、複数のウェハ露出を可能にする追加のターンテーブルユニットで構成することができます。また、NIKON I 8の光学マスク取扱機は、幅広い種類のマスクに対応しています。I8には、直接電子ビーム露光から幅広いパターンCADフォーマットまで、幅広い露光オプションがあります。16グレーから400グレーまでの露出線量をサポートし、歩留まりを犠牲にすることなく処理速度を加速するハイスループットモードも含まれています。それに加えて、I 8には高精度のパターン登録ツールがあります。高精度の登録アセットにより、サブミクロン範囲の位置精度が保証されます。NIKON i8は、イメージング機能に加えて、優れたプロセス制御とデータ収集オプションを備えています。10レベルのモータ制御、データ収集機能を搭載したリアルタイムの画像データ品質監視モデル、品質とプロセス制御機能を提供する組み込みプロセスコントローラ（EXCEL）を提供します。全体として、NIKON I 8ウェハステッパーは、優れたイメージング機能、柔軟なマスク処理、効率的なプロセス制御を提供する高度な装置です。i8では、高速イメージングを実現するだけでなく、優れた精度と制御でプロセスを制御することができます。