中古 NIKON i8 #293652750 を販売中

NIKON i8は、VLSI回路やMEMSデバイスの製造に使用される高精度、高スループットのリソグラフィ装置であるNIKONのウェーハステッパーです。このシステムは、6インチのモーションスタビライズ光学プラットフォームをベースにしており、高度な露出能力のために液浸露光レンズを使用しています。ハイエンドイメージングユニットを採用しており、パラレルトラックモーションリニアステージ、ワイドフィールドズーム、高速フォーカシングドライブを備えています。その露出の範囲は、7nmの解像度で、1mJ/cm2から50mJ/cm2までのパワー、それはすべての高度な露出アプリケーション要件に適しています。NIKON I 8は、現在市場で入手可能な最先端のウェーハステッパー設計のいくつかを生産することができます。その高度な設計機能は、平行露光をサポートし、良好なリトグラフ位置精度をもたらします。光学歪み補正を組み合わせることで、解像度や精度を向上させることができます。また、高精度のモーションコントロールシステムを搭載しており、半ミクロンの解像度と速度を高速かつ正確にマイクロステッピングできます。このツールには、高精度のステッチや最高の忠実度セグメント化など、優れた解像度、精度、再現性を確保するための多くのソフトウェアパッケージも組み込まれています。さらに、アセットはプロセスモニターのような革新的なツールを統合しています。これは、露出設定を自動的に調整し、予め定義されたパラメータに従ってウェーハを処理して均一性を維持するモニターです。I8は、今日と明日の両方のリソグラフィ用途のニーズを満たすように設計されています。このモデルは、高度なオプトエレクトロニクス、半導体、医療、およびMEMSデバイスの生産ニーズに最適です。さらに、装置は信頼性が高く、費用対効果が高いため、信頼できるリソグラフィーシステムが必要な場合に最適です。