中古 NIKON i8 #293593221 を販売中

NIKON i8は、半導体製造設備で使用するために設計されたリソグラフィーウェハステッパーです。このデバイスは、ワードラインパターニングからダブルパターニング、スタッキングレイヤーまで、さまざまなフォトリソグラフィ操作を実行できます。NIKON I 8には、2つの高NAレンズを含む最新世代の半導体リソグラフィ部品が搭載されています。また、ステッピングステージ、正確な位置決めメカニズム、照明システム、計測機器、および精密なアライメントとパターニングのための細胞ロボティクスの多種多様が付属しています。回転スキャンフィールドと高度な高解像度イメージング機能により、i8は大規模なリソグラフィー処理や小さなジョブに対応できます。I 8は、高精度なアライメントやウェハスキャン機能など、さまざまな性能向上を提供します。ナノメートル分解能と再現性を備えた高精度な位置決めステージを備えており、マスクやテンプレートの正確なオーバーレイと配置を可能にします。NIKON i8は高NAプロジェクションレンズを採用し、サイズ0.1µm以上の高精度なプリントが可能です。これにより、極めて精度の高いパターンを作成し、さらに詳細な超大型統合（ULSI）半導体デバイスを印刷することができます。プロジェクションレンズは、プログラマブルな均一フィールド照明システムと組み合わされており、ユーザーは必要に応じて精密照明パラメータを定義することができます。また、NIKON I 8には、位置決め精度とレイヤーオーバーレイを評価する高度な計測モジュールが搭載されています。これにより、ユーザーは印刷精度を理解することができ、パターン検証や修正プロセスに役立ちます。I8は、スタックレイヤー処理とダブルパターニングも可能です。オートアライメント機能と高度なロボティクスを使用することで、3Dデバイス構造などの複雑なジョブを処理でき、基盤となるレイヤーを損なうことなくレジストパターンの一部をエッチングすることができます。また、自動ロボットハンドリングプロセスと高速ウェーハ交換速度により、高スループットと低ディフェクトレートを実現します。最後に、I 8は小さなフットプリントを持つように設計されており、さまざまな設定で簡単にインストールできます。堅牢な構造により、最も困難な製造環境でも信頼性が保証されます。NIKON i8は、高度な機能と組み合わせることで、半導体リソグラフィーニーズに優れたソリューションとなります。