中古 NIKON i7A #293764351 を販売中

NIKON i7Aは、半導体製造や高度なウェーハ加工アプリケーションで使用される高精度ウェーハステッパーです。ニコンの強力な光学投影システム、高度な検査機能、さまざまなリソグラフィープロセスをサポートする適応可能なプラットフォームを内蔵した統合型パターンプロジェクション装置です。I7Aは高いスループット、高いパターンの再現性、高いプロセス柔軟性を提供し、集積回路のコスト効率と迅速な生産を可能にします。NIKON i7Aは、標準から複雑なカスタムパターンまで幅広いレチクルに対応できるプログラマブルレーザー投影ユニットを採用しています。レーザー投影機は、効率的なプログラミングを可能にするために、リニアシーケンスで最大8種類のレチクルを受け入れるように構成することができます。これにより、単一のウェハスキャンで複数のパターン層を正確かつ効率的に処理できます。i7Aの高精度な光学ツールは、正確なパターン配置と改善されたリソグラフィ性能を保証します。NIKON i7Aの高度な検査機能により、パターンやオーバーレイ精度の迅速かつ容易な検証と、自動欠陥検出が可能です。システム的欠陥とフォーカスエラーを識別するために検査ステーションをアセットに統合し、別のウエハ検査モデルを使用すると、パターンの高解像度および全面光学検査を行うことができます。自動化された欠陥検査とビニング機能は、ウェーハ処理中に発生する高価な壊滅的な故障を防ぐのに役立ちます。I7Aは、リソグラフィープロセスと計測の両方の厳しい要件を満たすように設計された堅牢な機器です。統合された独自の制御システムを使用して正確なウェーハの動きを保証し、パターン投影ユニットをプログラムして、さまざまな厚さと複雑さのウェーハの焦点、倍率、露出を正確に調整します。機械はまたさまざまなレチクルのサイズおよび形を収容できます。NIKON i7Aには、ウェーハの自動アライメントや、ロボットまたは手動インサートによる複数のウェーハの取り扱いなど、高度な生産性を備えた包括的な機能が含まれています。これにより、他のシステムと比較して、プロセスの安定性、収率の向上、処理時間の短縮が保証されます。このツールは、集積回路の迅速な生産のために迅速に取得し、更新することができ、50までの異なるプロセスレシピを記憶することができます。I7Aは、高度な生産性機能、強力な光プロジェクション資産、洗練された検査機能を組み合わせて、柔軟で費用対効果の高いプラットフォームを提供し、幅広いウェーハ処理アプリケーションをサポートします。高精度で再現性の高いリソグラフィ性能と半導体製造の歩留まりを確保し、集積回路メーカーにとって貴重なツールとなっています。