中古 NIKON i7 #9362190 を販売中
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NIKON i7ウェハステッパーは、集積回路(IC)チップを量産する先進的なイメージングシステムです。高精度なICパターンをウェーハ基板にエッチングするための費用対効果の高い効率的な方法です。このステッパーは生産ライン操作で使用するための多くの特徴が装備されています。NIKON I 7は露出されたフィルム技術を使用するように設計されており、高速かつ高解像度を実現しています。電子ビームスキャンを使用して、レチクルを必要とせずにウェーハを直接露出させます。露光時間を正確に計測することで、タイトなライン間隔と高い画像精度を実現します。I7ウェーハステッパーには、最適なプロセス制御を提供する高度なソフトウェアが装備されています。化学機械平坦化(CMP)プロセスとエッジステップのこの精密な制御は、最高品質の出力を保証します。ウェーハイメージングに加えて、I 7を使用してウェーハ表面にSE(選択的エッチング)プロセスを実行することもできます。これにより、0。98 μ mの深さまで精密にエッチングすることができ、回路や表面構造の深い埋め込みをサポートします。NIKON i7システムは、0。5 µmピクセルスポットサイズなどの高度なハードウェアおよびソフトウェア機能を備えており、ハイエンドのIC製造業務において信頼性が高く、かつ高性能なプラットフォームとなっています。ICダイサイズは25。4mm、マトリックスサイズは8×8または10×10で、高度なエッチングソリューションとエッチングパターンをより高速かつ高精度に実現できます。全体として、NIKON I 7ウェハステッパーは、最も汎用性の高い先進的なイメージングシステムの1つです。高精度なICチップを一貫して高性能で効率的に生産できる設計です。包括的な機能を備え、あらゆるIC製造ラインに最適です。
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