中古 NIKON i7 #9353968 を販売中
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NIKON i7は、半導体集積回路の製造用に設計された先進的なウェーハステッパーです。このデバイスは、0。1マイクロメートルの解像度と4 x 8インチのフィールドサイズで高精度と解像度を提供します。2つのステージ5軸を装備し、ウェーハ表面全体を調整した高速スキャンを提供します。これにより、露出およびスキャンアプリケーションのスループットが向上します。NIKON I 7は、100秒から2500秒までの幅広い処理時間をサポートする高速スキャンコントローラを備えています。これにより、全体的なスループットを高速化しながら、高速かつ正確なモーションコントロールを実現します。ウェーハステッパーはまた、高精度を確保するために、サーマルベースとレーザーベースのセンサーの両方でアライメントシステムを提供しています。I7は、マルチレベル1X-4Xリソグラフィ、マルチフォーカス、生徒補正機能などの高度なリソグラフィ機能もサポートしています。これらの機能は、高密度パターニングのための高スループットを可能にし、複数のパターニングに高い歩留まりを提供します。さらに、レーザーベースの露光装置を備えており、複雑な構造の全面露光を可能にします。デザイン面では、I 7はユーザーフレンドリーで効率的に設計されています。センサー、タッチパネル、カメラベースのシステムを備えており、プロセスを正確に監視できます。また、統合されたデータロギングとジョブトラッキングシステムを備えており、分析と生産性の指標を提供します。さらに、カラーグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、オペレータは露光と露光アルゴリズムを簡単に切り替えることができます。NIKON i7には、フォトマスク設計、ウェーハマップアラーム、パターン修復自動化、自動露出、エッジトレーシングなどの総合的なプログラミングツールも付属しています。これらのツールは、高精度を確保しながら、迅速かつ自動化された設計およびアライメント操作を可能にします。これにより、このデバイスはプロセスの最適化と再現可能な結果に最適です。モジュール構造により、柔軟性と既存のリソグラフィーシステムへの容易な統合が可能です。最後に、NIKON I 7では、操作中のエラーを動的に監視および調整できる高度な制御オプションを提供します。これにより、効率が向上し、リアルタイムでプロセスを最適化できます。このユニットはまた、ユーザーが設定をカスタマイズできるように、自己説明アルゴリズムとパラメータを含むマシンレベルライブラリを提供しています。全体的に、i7は包括的な制御と柔軟性を提供し、高精度のリソグラフィ用途に最適です。
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