中古 NIKON i7 #9280560 を販売中

NIKON i7
製造業者
NIKON
モデル
i7
ID: 9280560
Stepper.
NIKON i7は、高度な半導体デバイス製造用に設計されたフォトリソグラフィーステッパー装置です。このシステムは、高精度、安定性、高スループットのユニークな組み合わせを備えており、ハイエンドナノメータスケールの製造に最適なツールです。本機は、高解像度、高精度、再現性に優れた248nm UVプロジェクション光源を採用しています。ウェーハステージは高精度で、5mmの焦点範囲から0。12ミクロンまで変位することができます。また、2つの独立したスキャンモーターを内蔵しており、ドーピングとエッチングを独自に最適化しています。NIKON I 7は汎用性と拡張性のために構築されており、さまざまなステッパー幅と解像度のために設定可能なソフトウェアです。このマシンは、21mm x 21mmの最大金型サイズをマスクすることができます。選択可能な円のサイズの加えられた特徴を使うと、それは容易にサイズの5ミクロンまでの円を作り出すことができます。I7は、NIKONのフラッグシップMirrorless Direct Drive Solutionsプラットフォーム上に構築され、高精度で安定した信頼性の高いイメージングを提供します。このプラットフォームには、高度なデュアルチップアーキテクチャと高度な精密安定化技術が搭載されており、利用可能な最高のスループットと歩留まりをもたらします。Mirrorless Direct Driveプラットフォームは、最適化されたドリフト補償、高度なインテリジェント最適化アルゴリズム、および自動フォーカス制御も提供します。このツールは、簡単に操作するための直感的なソフトウェアインターフェイスを備えています。ユーザーは、露出形状、ピーク投与量、スキャン速度、ビーム幅など、さまざまな露出パラメータを選択できます。アセットは、カスタム設計されたパターンやデータをさまざまなソースからインポートすることもできます。I 7はクリーンルーム環境で動作するように設計されており、振動や熱歪みを低減するための高度な絶縁技術を備えています。また、ウェーハやステッパーウェルの安全な積み下ろしや、微粒子の汚染を最小限に抑えるエアオペレーティングシステムを採用しています。NIKON i7はハイエンド半導体デバイスの生産において優れた選択肢です。精度と信頼性を兼ね備えたユニットは、高いスループットを実現しながら、常に正確な結果を出すことができます。マシンの汎用性、拡張性、直感的なソフトウェアインターフェイスにより、ユーザーフレンドリーなエクスペリエンスを実現します。
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