中古 NIKON i7 #9205849 を販売中

NIKON i7は、半導体製造プロセスで使用されるウェーハステッパーです。ウエハ表面の特徴を極めた精度とサイズのバリエーションでパターン化し、複雑な電子部品の量産に欠かせない機械となっています。NIKON I 7は、レンズ、プリズム、ミラーなどの精密光学部品シリーズと、ウェーハの特徴を正確に検出し、バリエーションを最小限に抑えて正確に再現するように設計された高度なソフトウェアを備えています。これにより、生産プロセスの再現性と信頼性が保証されます。フルフィールド露光モジュール、ステッピングユニット、2つの平坦度センサー、フラットドライヤー、ポスト露光ユニットからなる高効率フォトリソグラフィ技術を備えています。ドライヤーは、光エネルギーにさらされた後にウェーハ表面を乾燥させるために使用され、露出後のユニットはウェーハの表面をパターン化する重要なステップを実行します。I7は直径200mmまで測定するウェーハを収容できます。その先進的なイメージング装置は、優れたスループットレートと正確なライン幅制御を提供し、プロセスエンジニアは優れたデバイス歩留まりを提供することができます。このマシンには、プロセスを最適化し、潜在的な欠陥形成領域を排除するための独自の欠陥密度監視システム（DDM）も付属しています。このユニットは、ユニット内の欠陥を自動的に検出、記録、分析するため、エンジニアは異常に高い欠陥濃度の特定の領域を識別し、それらを除去するために必要な手順を実行することができます。さらに、I 7はOPC （Optical Proximity Correction）規格に準拠しており、エンジニアは一貫して生産における最適なリソグラフィ性能を達成することができます。この機能をDDMマシンと組み合わせることで、プロセスエンジニアは一貫した歩留まりで高品質の部品の収量を確保することができます。最後に、NIKON i7には自動校正ツールが組み込まれており、生産精度を向上させ、エラーを最小限に抑えます。これにより、マシンは最適なポイントで動作するようになり、スループット率と製品歩留まりの両方を長期にわたって向上させます。