中古 NIKON i7 #9185650 を販売中

NIKON i7は最先端の光学ウェーハステッパーです。バックエンド・オブ・ライン（BEOL）プロセスアプリケーションを含む幅広い露光範囲でのリソグラフィが可能です。NIKON I 7には、NIKONの革新的なBファシリティ指向の標準出力G-MAPバイナリデータフォーマットに加えて、高精度な登録を提供する新しいNIKON MAPS III（マルチプロジェクションアライメント装置III）レチクルアライナーが搭載されています。I7は、4プレートの高感度スリットフィールドイメージセンサーを備えており、1ピクセルの同時アライメントを可能にします。さらに、I 7では、4要素レンズシステムを備えた新しいactive-AOM （Auxiliary Objective Module）を採用し、昏睡収差を低減しています。このモジュールは、フィールドの均一性とシャープネスを大幅に向上させます。さらに、NIKON高性能ステージユニットは、ステージムーブメント時間を短縮することで、マシンスループットを向上させます。これはすべてsacfrirfigパーシジョンなしで達成されます。NIKON i7の高度なダイヤモンドトルクステージは、サブナノメートルの位置決め精度と最大100 μ m/sec2の加速が可能です。高精度のステージにより、露光ウィンドウ全体にわたって安定した安定したイメージング性能を発揮します。NIKON I 7は、サブナノメーターの表示精度と1nmピッチパターン認識のための新しい高精度電子乗算CCD （EM-CCD）も備えています。このEM-CCDは、マイクロスルーホールやスルーコンタクトアライメントなどの用途で信頼性が高く、パターンが狭い用途でも使用できます。さらに、インテリジェントなパターンマッチング機能であるNIKON SPTS （Shutter Process Tool Software）は、CADデータと測定断面データを正確に比較し、堅牢なプロセス監視を実現します。これにより、プロセスの均一性、トレーサビリティを完全に制御し、リアルタイムでプロセスの最適化を可能にします。NIKONのデザイナーはi7の人間工学に特別な注意を払いました。I 7は操作、ツールアクセス、メンテナンスが簡単で使いやすいように設計されています。最後に、このツールは耐久性のあるステンレス製の構造で覆われており、振動とノイズの減衰のための高密度シールドが施されています。NIKON i7は、研究開発や生産工程アプリケーションにおいて、高度で正確で信頼性の高いツールです。