中古 NIKON i7 #9068879 を販売中

NIKON i7は、高度な180nmノードおよびその下のリソグラフィ用途向けに設計されたウェハステッパーです。この超高解像度パターン生成装置は、フルサイクルタイム66秒で1。2ライン/スペースパターンと200nmの直径接触穴を実現します。ユニークな1.2X還元光学系と高度な照明システムは、長い、安定した運用寿命と高い安定性と組み合わされています。この特徴の組合せはニコンI 7を大量、費用効果が大きいリソグラフィの生産のための理想的な解決にします。I7は6軸ユニットで、効率的なマスキングアライメントと実行が可能です。その堅牢な機械設計は、長期的な動作を保証し、高精度と画像の再現性を維持します。多数のアライメントマークを使用した超高速オートアライメントマシンは、正確なアライメントを達成するために必要な時間を最小限に抑えます。その汎用性の高い自動停止ツールは、フォトレジスト処理中に頻繁に検査を行うことができ、生産に最適な露出のみを使用することができます。スキャンとステップとリピートモードの両方を組み合わせることで、I 7はチップからウェーハまでのさまざまな光学デバイスのサイズを製造するのに理想的な選択肢となります。低消費電力と省スペースにより、床面積の管理と空調効率の向上が可能です。既存のレチクルおよびフォトレジスト処理システムと互換性があり、広範なメモリとコードの再キャリブレーションなしでリソグラフィ資産を統合することができます。NIKON i7は、優れた環境保護機能も備えています。オゾン処理装置を内蔵し、露出工程で排出される超低濃度オゾンなどのガスをろ過し、安全な作業環境を確保します。花弁シャッター設計により、レチクルからウェーハへの光の漏れを防止し、敏感な露出を維持します。このモデルには、騒音や振動を低減するための防振装置と、オペレータを保護するための自動安全連動ドアも備えています。全体的に、NIKON I 7は高度なリソグラフィ処理用に設計された、信頼性の高い、費用対効果の高いウェーハステッパーです。多目的な機能の組み合わせにより、光学デバイスの大量生産に理想的な選択肢となり、効率的な運用と長期的な信頼性を可能にします。