中古 NIKON i7 #293793325 を販売中

NIKON i7は、大量の半導体製造においてコスト効率が高く高精度な高解像度イメージングとリソグラフィを提供するウェハステッピングソリューションです。この装置は、多くの産業用途向けに高性能で高精度な半導体デバイスを製造するために設計されています。NIKON I 7ウェハステッパーは、高度にカスタマイズ可能なシステム構成に基づいて、非常に高速で正確なステップ/スキャン性能を提供します。この機能豊富なユニットは、ダイレクトドライブアクチュエータマシンを使用して、4軸モーションコントロールと組み合わせた超安定段動作を保証し、滑らかなステップとスキャン動作を保証します。このツールはまた、多層アプリケーションに最適なコアアライメント精度のための高度なイメージングおよびリソグラフィ機能を提供します。ウェハステッパーI7、フレーム統合プロジェクション光学アセットと8。3インチの内蔵HD-CDSパターンモニターを使用して、ウェハエリア全体の高解像度画像を提供します。また、全面露光装置を高速化し、露光時間を短縮しました。さらに、マスクキャリアの直感的な位置決めを可能にするユニークな機構を備えており、信頼性の高い正確なマスクイメージングとアライメントを提供します。I 7は高いスループットと高いトラックレート機能を備え、内蔵された強力なオートフォーカス・ユニットにより、フォーカス時間が短縮され、ウェーハ露出時間が短縮されます。また、光電力安定性を向上させ、多層イメージングおよびリソグラフィ処理において最高の露光均一性を確保します。このウェーハステッパーには、多種多様なエッチング技術、マスキング、スキャン、オーバーレイ測定技術など、イメージングとリソグラフィ機能が搭載されています。このツールは、さまざまなアプリケーションの設計から製造までのデータ入力と出力のための統合環境を提供します。これらの機能はすべて、NIKON i7を最も要求の厳しいウェーハ処理アプリケーションに最適な選択肢としています。