中古 NIKON i7 #293628329 を販売中

NIKON i7は、集積回路デバイスの生産を向上させるために設計された最先端のウェーハステッパーです。ウェーハステッパーは、正確なイメージング、正確なアライメント、および非接触の写真アライメント処理を効率的に提供するように設計されています。半導体製造プロセスを簡素化し、デバイス機能の精度と再現性を高めます。NIKON I 7は、高倍率光学、デジタルエンコーダ、モーションコントロールを組み合わせて、競合ソリューションに比べて解像度と再現性を大幅に向上させました。露光時間が短く高速なため、生産環境に最適です。X、 Y、 Z軸の電動ステージは、イメージングプレーンを正確に制御します。X、 Y、 Z軸はブラシレスDCモーターを使用して駆動され、Z-Achromatの目的は広範囲の倍率を提供し、望ましい高さに応じて自動的にイメージングプレーンを調整します。このマシンはまた、高度なフレーム転送システムを備えており、多数のフレームを正確かつ迅速にキャプチャすることができます。このシステムは、異なる基板上の層間のスムーズな遷移を保証し、大きな基板を露出する際に高い精度を提供します。I7は、高いNAフォトレジストを使用することも可能で、高精度が要求される用途において、優れた解像度と精度を提供します。また、測定や基板へのフォーカスにも使用でき、製造工程での精密な制御が可能です。ウェーハステッパーには、運動性能、運動システムの精度、光学系の性能を分析するいくつかの診断ツールもあります。さらに、半導体ウェーハの効率的なロードとアンロードのためのロボットアームを統合し、全体のスループットを向上させ、プロセス全体をさらに簡素化します。結論として、I 7ウェーハステッパーは、正確で正確なイメージング、アライメント、および写真整列プロセスを提供するように設計された最先端の機械です。高いNAフォトレジストを使用することができ、全体的な性能と精度を高める高度な診断ツールが装備されています。さらに、統合されたロボットアームは、製造プロセスのスループットを簡素化し、向上させます。