中古 NIKON i7 #293600301 を販売中
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NIKON i7は、高精度な電子部品などの製造用に設計されたウェーハステッパーです。その中核となるのが、高度なアライメント技術であり、アライメントから露出まで、あらゆるプロセスに精度と精度を提供します。NIKON I 7は、高度なアライメント技術を駆使してウェーハをリアルタイムでスキャンし、高精度なトレースラインを探し出します。最大8ミクロンの解像度でスキャンすることができ、最小の欠陥や欠陥を正確に検出することができます。高度なアライメント技術は、最大400mm/sの高速スキャンも可能で、露光時間を短縮し、スループットを向上させます。I7は完全に自動化されたシステムで、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、複雑なタスクをユーザーに導きます。単点オートフォーカスと偏光制御を内蔵し、ウェーハ全体のパターンを正確に登録できます。ソフトウェアには、対称性、レベリング、グローバルマッピングなど、さまざまなパターン認識ルーチンが含まれています。さらに、システムはユーザー固有のプロセス変更やウェーハ仕様に簡単に適応できます。このデバイスの特徴には、NIKON Pulse-Control-Carnival (PCC)技術も含まれます。この技術は露出の間に線量および線量率を精密に制御することを可能にします。また、基板温度の正確な制御とサーマルドリフトの補正も可能です。したがって、プロセスの安定性を確保し、要求の厳しい半導体アプリケーションに適したシステムを確保するのに役立ちます。I 7は様々な用途に適した高性能ウェーハステッパーです。高度なアライメント技術とPCC技術などのその他の機能のおかげで、高精度な結果を提供することができます。直感的なGUIと自動化されたプロセスにより、使いやすいデバイスとなり、さまざまな製造プロセスに適しています。
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