中古 NIKON I6 #9144950 を販売中

NIKON I6は、リソグラフィープロセス用に設計された最先端のウェーハステッパーです。このデバイスは、高度な機器アーキテクチャ、高精度操作、およびその光学機能を備えた幅広い機能を備えています。I6はXYストローク25mmの精密ステージを備えています。これにより、リソグラフィの成功に不可欠な高精度加工が可能になります。また、オートフォーカス機能を備えた高精度クローズドループシステムと、ウェーハ上の異なるポイント間の高さ差を補正する補正機構を備えています。I6はまた、ウエハ表面への基板の正確なアライメントを可能にする3次元表面センシングユニットを備えています。これは、リソグラフィープロセスの正確さと一貫性を確保するのに役立ちます。また、NIKON I6は、高精度画像を可能にするオフ軸投影光学ユニットを搭載しています。また、オートアートワークマッチング機構を備えており、フォトマスクへのアートワークの正確なアライメントを可能にします。これは露出の正確さを保障するのを助けます。さらに、このツールには、露光プロセス中の任意のドリフトを考慮するために、アライメントのin-situ自動補正が含まれています。I6の光学系は、幅広い解像度をサポートするように構築されています。このデバイスは、30nmの特徴と200ミクロンのパターンを高精度かつ高精度で処理できます。また、NIKON I6のプレート間の再現性は± 0。1nmです。さらに、I6は、精密な測定と制御のためのセンサーとコントローラのフルレンジで構築されています。これには、マスクとウェーハのアライメント精度を正確に測定できる計測アセットが含まれます。センサモデルは、隣接するパターン間の重なり合った領域を測定するだけでなく、露出後のパターンを分析することもできます。NIKON I6は、リソグラフィ用途に正確かつ正確な結果を提供するように設計された強力で汎用性の高いウェーハステッパーです。I6は、先進的な装置アーキテクチャ、高精度操作、幅広い機能を備え、現代の半導体リソグラフィープロセスでの使用に最適なデバイスです。