中古 NIKON I6 #293775851 を販売中

NIKON I6は、優れた光学性能、スループット、および費用対効果を提供する最先端のウェーハステッパーです。この高度なウェーハステッパーは、さまざまなマイクロリソグラフィー用途に最適です。I6は、高度な投影アライメントを使用して、ウェーハ表面全体の均一性を確保します。ウェーハステッパーは、高度な最適化された光学部品を備えた高度な投影露光装置を備えており、最適な露光伝送を可能にします。これにより、高いリソグラフィ性能と低い所有コストが保証されます。このウェーハステッパーのプロジェクター機能は、新しく設計された大口径のダブルガウスミラーを使用しており、高いNA（数値開口）と均一な照明強度プロファイルを保証します。長時間使用可能なプロジェクションオプティクスが改良されているため、ほとんどのスペースが限られたファブにも簡単に組み込むことができます。ステッパーにはステッパーのON/OFF機能が搭載されており、さまざまなチャンバーでステッパーを使用することができます。ステッパーON/OFF機能により、露出の均一性と精度を損なうことなく、起動時間を短縮できます。NIKON I6は、スループットと精度を向上させる完全自動ウェーハ転送システムを備えています。ウェーハピッキングユニットは、ウェーハが箱からステッパーに安全に転送されることを保証します。また、両面ウェハハンドリングマシンは、ウェハーの両面を迅速に処理し、露出を高速化します。I6には、より高精度なウェーハアライメントツールが搭載されています。高度なアライメントアセットにより、露出ツールへのウェーハの正確なアライメントが可能になり、より高い精度と歩留まりが保証されます。また、ウェーハステッパーは高度なレイヤー補正制御を備えており、露出が高精度で正確であることを保証します。高度なチャンバー温度制御は、熱変動を低減するのにも役立ちます。NIKON I6は最高の性能および製品歩留まりを保障する完全な用具です。高度な機能と優れた光学性能により、I6は大幅にコストを削減しながら、マイクロリソグラフィープロセス全体の忠実性を高めます。