中古 NIKON i204 #9229245 を販売中

NIKON i204は、使いやすいパッケージで最大スループットを目指して設計されたウェーハステッパーです。高度なアライメント技術、8秒のアライメント時間、高コントラスト検出装置、および自動基板選択システム（ASSS）を備えています。I204は、基板上のオーバーレイの均一性を提供し、より高いレベルのパターン配置精度を可能にする、高度に構成可能な4段マッピングユニットを装備しています。最大18m/s2の加速を実現し、大小の基板を処理する際に高いスループットを実現します。機械のウエハ容量は150mmおよび200mmのウエハを扱うことができます。そのステージは最大の安定性のために大きなフレームに取り付けられており、ツールに優れた温度性能を与え、その処理速度を向上させます。NIKON i204は高いスループットを実現し、コスト削減と高精度な性能を実現しています。独自の高度なスキャン技術を採用し、パターンや微細な欠陥を正確に検出します。最大フィールドサイズは28mmで、各モデルは0.4µmまでの解像度が可能です。本装置は、独自のNIKONアプリケーションシステム（NAS）ソフトウェアを使用して光学ユニット全体を制御します。このマシンは最大8つのジョブを格納することができ、将来のアップグレードで更新することができます。アライメント、倍率、層の厚さを手動で調整できます。I204には、露出後にレチクルを自動的に洗浄することで時間を節約する機能があります。ショット中の温度変化を補正できるツールと、汚染を低減するガス浄化ツールを備えています。NIKON i204は、生産性の高いモデルで高精度な性能を提供する最先端のステッピングアセットです。優れたアライメント機能、優れたパターン認識機能を備え、最大200mmの基板に対応できます。パフォーマンスを向上させるために多数のオプションを用意し、メンテナンスのダウンタイムを短縮するクリーニングツールを内蔵しています。