中古 NIKON i14 #9036216 を販売中

NIKON i14は、微細加工用のウェーハ上で精密成形部品を製造する高性能ウェーハステッパーです。これは、高い再現性と均一性を備えた高効率のバッチ生産に依存しています。最大14インチまでの大型基板に対応可能で、24インチまでの基板でのリソグラフィが可能です。NIKON I 14は多露光機能を採用しており、複数レベルの精度の部品を製造することができます。ナノスケールの幾何学を作り出すために高精度で0.01μm²するために露出線量を制御する機能があります。さらに、i14には自動リバースモードがあり、リソグラフィ中に露光フィールドを反転させるためにトリガーすることができます。これは、複雑なマルチレベルのリソグラフィーパターンを扱うときに非常に貴重な機能です。I 14は高解像度のイメージング機能を備えており、近距離光学とスピンシフト機能を組み合わせることで高解像度を実現しています。スピンシフトリソグラフィ用の高速同時配置が可能です。さらに、スピンシフト機能により、光学およびLCD製造用の光電子部品に複雑な機能を生産することができます。高速6軸ロボットを搭載し、狭い空間でも正確かつ正確に移動することができます。ウェーハの位置決めを安定した状態で行えるリフティングステージを搭載しています。このシステムには、0。1 μ mの精度で整列できるビジョンユニットも付属しています。機械はステッパーの安定した操作を保障し、汚染の危険を減らすために有効な空冷機能が装備されています。ステッパーの精度と実行時間を制御できる高度な制御ツールを備えています。このような堅牢な機能により、NIKON i14は様々な製造プロセスにおいて信頼性の高い資産です。