中古 NIKON i12D #9068880 を販売中

NIKON i12Dは、半導体ウェーハなどの基板上の重要なデバイス機能を正確に測定し、イメージするために設計されたハイエンドウェーハステッパーです。I12Dは、高解像度i-lineプロジェクションレンズと低エネルギー短波長プロジェクションレンズの両方を使用する高度なハイブリッドガン光学機器を備えています。このハイブリッドガンシステムにより、NIKON i12Dはウェーハ上の深いサブミクロンの特徴を正確かつ迅速にイメージすることができます。I12Dは、エアベアリングとモーター駆動のX/Yステージの両方を採用した高精度のデュアルステージポジションユニットを備えています。このポジショニングマシンは自動化されており、X/Y 10nm、 Z。 NIKON i12D 1ミクロンの精度で正確な間隔の動きを実現することができます。また、低空間周波画像から高ナノメートル分解能まで、ほぼすべての用途に対応できるデュアル露光を備えたLEDストロボからなる強力な照明ツールを備えています。I12Dには、ブライトフィールドモード、ダークフィールドモード、サイドビューモード、テレセントリックモード、環状ブライトフィールドモードなど、幅広い動作モードがあります。これらのモードの組み合わせにより、重要なデバイス機能を正確かつ迅速にイメージすることができます。NIKON i12Dには、最大256ギガバイトのデータを格納できる大容量ハードドライブを備えたデジタルイメージングモデル（DIS）と呼ばれる強力なデータストレージ資産もあります。これにより、複数の露光実行からの画像を保存し、大きなLCD画面で便利に表示することができます。イメージング機能に加えて、i12Dには、精密で正確なウェーハアライメントとイメージングを可能にするアライメントおよび制御システムが多数組み込まれています。例えば、NIKON i12Dには、高精度で信頼性の高い包括的なウェーハミスアライメント検出（WMD）装置があります。I12Dは、ほぼすべてのシステムおよび基板を取り扱うことができ、業界最高水準の性能基準を満たすように設計されています。高度な半導体デバイス製造プロセスなどの高解像度イメージング要件に最適なソリューションです。