中古 NIKON i12D #293823356 を販売中

NIKON i12Dは、リソグラフィおよび微細加工プロセス用に設計されたステッパーです。これは、標準または高数開口光学を利用した光学リソグラフィ機です。I12Dは、空中光学プラットフォーム、粗くて細かい運動ステージ、レチクル装置、露出/プロセス制御など、複数のコンポーネントで構成されています。NIKON i12Dの光学プラットフォームは、中央の主露光プリズムと2つの側面カメラを使用して半導体ウェーハの完全な視野をキャプチャするNIKON 3カメラ設計で構成されています。これにより、最適なリソグラフィ露光と反復可能な性能を得るための光学系の正確な位置決めが可能になります。光学プラットフォームは、透明マスクと反射マスクのための0。75および0.5NAの光学システムを提供し、高い導電率のリソグラフィ用途のために最大0.1NAの数値絞りを提供します。光学は直径6。35mmで、視力の途切れない光学ラインを提供し、200mm²までの製造業のサイズのために適しています。i12Dのナノメートル精度ステージには、高精度のNIPフッ素コーティング線形ガイドと、自動位置決めを使用して最大+-200 μ mのホッピング運動を可能にするナノメートルモーションコントロール（NMC）システムが装備されています。粗モーションステージは最大50mm、微細モーションステージは最大16mmです。両方のステージは、精密ガイドユニットを介して制御されます。NIKON i12Dのレチクルマシンは、レチクル交換ツール（RES）を使用して、ストッカーからパターンマスクを転送します。このアセットは、自動化されたアライメントを使用して、セットアップ時間を最小限に抑え、露出のサイクルタイムを短縮します。最後に、i12Dの露出/プロセス制御は、露出時間とレーザー出力強度、プロセス温度、加熱/冷却速度、プロセス時間などのプロセス設定など、調整可能な露出パラメータを提供します。NIKON i12Dはワンタッチ操作のためにプログラムすることもできます。結論として、i12Dは、リソグラフィと微細加工プロセスのために特別に設計された高度なステッパーです。3カメラの光学プラットフォーム、ナノメートル精度のステージ、レチクル交換モデル、および調整可能な露出とプロセス設定を備えています。このウェーハステッパーは、最大200mm²サイズの半導体ウェーハサイズに適しており、最適なリソグラフィ露光、効率的な加工、および精密ガイドを提供します。